王国勋
- 作品数:5 被引量:14H指数:2
- 供职机构:复旦大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 一种基于光子晶体结构的新型MEMS红外光源被引量:2
- 2007年
- 结合光子晶体和表面等离子体共轭(surface plasmon resonance,SPR)技术,研究了一种新型的MEMS红外光源.相比传统的红外光源,该新型光源具有红外光谱窄、红外发射峰位置可调等优点.该光源衬底材料为硅,然后在硅表面形成SiO2-Cr-Au结构,并在Si-SiO2-Cr-Au结构表面形成刻蚀深度为2μm、孔间距分别为7μm和8μm(孔直径分别为3.5μm和4μm)等不同的周期性排列圆孔的光子晶体结构.采用有限元时域分析(finite-difference time-domain,FDTD)软件模拟和傅里叶红外光谱仪实际测量的结果表明,该新型MEMS红外光源具有窄的波峰,其反射光谱波谷波长和圆孔间距相近.通过理论推导和FDTD软件模拟,研究了光源光子晶体结构中圆孔深度和透射光谱波峰强度关系.结果表明,圆孔深度为2μm的结构比3μm结构的透射强度更强.透射强度与圆孔深度h在一定范围近似为倒数平方关系,即在一定范围内圆孔越深,透射越弱.
- 王国勋纪新明周嘉包宗明鲍敏杭黄宜平
- 关键词:表面等离子体共振微机电系统红外光源反射率
- 基于光子晶体结构的表面等离子体共振器件及其应用研究
- 基于光子晶体结构的表面等离子体共振(surface plasmon resonance,SPR)器件由于其独特的光学特性,已成为国内外的一个研究热点。对这方面的研究具有很高的学术意义和广泛的应用前景。 本文研究了基于二维...
- 王国勋
- 关键词:SPR光子晶体红外光源
- 文献传递
- 基于表面等离子体效应的MEMS红外辐射源特性研究被引量:4
- 2008年
- 研究了一种新型的基于二维光子晶体结构的表面等离子体共振SPR(Surface plasmon resonance)效应的红外辐射源,该辐射源基本结构为Si-SiO2(650nm)-Cr(100nm)-Au(800nm),并在Au表面刻蚀5μm的周期性排列的圆孔。设计加工了几种不同的结构,包括三种不同的圆孔间距即晶格常数:6μm,7μm,和8μm;四种占空比(圆孔直径与晶格常数之比):3/8,4/8,9/16和11/16;以及三种圆孔排列方式:正方形排列,六边型排列,和带规则缺陷六边型排列。本文采用红外傅立叶测量设备对辐射源进行测试分析,通过该辐射源的红外反射谱表征其辐射性能,并利用FDTD软件进行模拟,和实验数据作了比较。研究结果得出了红外辐射源反射谱波谷位置即SPR共振峰位置,波谷强度即SPR共振峰强度与不同结构参数之间的关系。研究发现该辐射源SPR共振峰位置基本与圆孔间距即晶格常数成正比,正方型排列基本接近于1:1,而六边型排列基本接近于3/2;常规六边型排列比带缺陷六边型排列和正方型排列具有更窄的半波宽和更大的SPR共振强度;随着占空比变大,该辐射源的SPR共振峰强度变大。
- 王国勋纪新明周嘉包宗明鲍敏杭黄宜平
- 关键词:光子晶体
- MEMS红外光源及应用被引量:9
- 2006年
- 针对传统红外光源需要另加调制部件,使得传感体系价高和笨重的不足,利用微电子工艺研制了一种用于便携式非扩散红外气体传感器的电调制红外光源,并对其辐射特性进行了测试。将光源应用于自行搭建的小型红外吸收气体传感系统中,对不同气体体积分数的CO2和SO2气体进行探测,测量精度分别达到20×10-6和50×10-6气体体积分数。重复测量偏差在10%之内,且光源辐射性能稳定,可用于多组分气体探测。
- 吴飞蝶纪新明王建业王国勋黄宜平
- 关键词:红外光源红外吸收
- 由纳米压印技术制备水凝胶可调谐光子晶体的方法
- 本发明属于光子晶体技术领域,具体为一种由纳米压印技术制备水凝胶可调谐振光子晶体。本发明先设计成二维光子晶体图形结构,制作出PDMS弹性印章作为模板,采用流体铸模和纳米压印技术将PDMS上的光子晶体结构转移到水凝胶上,即得...
- 张金英黄华纪新明王国勋周嘉包宗明黄宜平
- 文献传递