王晓浩
- 作品数：524 被引量：537H指数：11
- 供职机构：清华大学深圳研究生院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信理学更多>>
- 一种基于压电测量的晶体清洁装置与晶体清洁方法
- 本发明涉及大气颗粒物检测领域，公开了一种基于压电测量的晶体清洁装置与晶体清洁方法，晶体清洁装置包括用于引导气流向晶体的表面进行吹扫的流道；第一电极，以及可与晶体导电连接的第二电极；第一电极与第二电极之间可形成方向可变的电...
- 李星辉吴豪王晓浩周倩倪凯
- 文献传递
- 一种直驱射频电源
- 一种直驱射频电源，包括依次连接的信号源、电压调理电路和三个并行的高压放大电路，信号源提供两路相互独立且幅度、频率与相位均可调的5V以内低压正弦波信号RF和AC；电压调理电路接收RF和AC并进行处理以得到RF‑’信号、RF...
- 倪凯许文超鲁信琼张愈其余泉钱翔王晓浩
- 单晶硅微型阀的设计制作
- 本文研制的单晶硅微型阀是为了硅微型泵的应用专门设计的,但是微型阀本身也可以作为流体控制器件.文中详细说明了微型阀的设计和加工工艺,讨论了该阀加工过程中的干法腐蚀和湿法腐蚀工艺,以及自停止腐蚀工艺.
- 王晓浩周兆英张文栋
- 关键词：微型阀单晶硅
- 文献传递
- 一种梳齿电容式压力传感器
- 本发明公开一种梳齿电容式压力传感器，其特征在于：包括可动电极、固定电极、连接可动电极和固定电极的弹性绝缘连接件以及分别设置于可动电极和固定电极两相对面上的多个梳齿电极，位于可动电极上的梳齿电极与位于固定电极上的梳齿电极相...
- 王晓浩吴一川张旻
- 一种微流控检测芯片的设计与工艺研究被引量：11
- 2009年
- 设计并制作了一种PMMA材料的微流控检测芯片,利用外界气体驱动液体,用于实验样品的分析和检测。芯片的整体尺寸为86 mm×60 mm×4.5 mm,利用精密加工的方法进行加工。采用一种简单实用的溶胶-凝胶改性方法对微通道管路进行亲水处理,实验证明亲水性有明显提高。并分析了亲水性提高的机理。提出一种新的溶剂键合方法,在室温下对芯片进行键合。溶剂为二氯乙烷和无水乙醇按1:1混合的混合液。分析了不同溶液配比、键合时间和键合压力对键合效果的影响。同时,芯片上集成了多个阀,对阀膜材料的选择、粘接工艺进行了研究。
- 杨波唐飞王晓浩杨卓熊继军
- 关键词：微流控检测芯片亲水性键合
- VHDL在系统芯片设计中的应用被引量：6
- 2003年
- 介绍了超高速集成电路硬件描述语言(VHDL)的发展历程,并且论述了利用VHDL。在复杂可编程逻辑器件(CPLD)上进行系统芯片(SOC)设计的方法。通过视频同步信号发生器的设计实例,详细描述了基于VHDL进行系统芯片设计方法的应用过程,并进一步讨论了在实际应用中VHDL程序设计的优化问题和应用技巧。
- 纪凡王晓浩周兆英齐怡
- 关键词：超高速集成电路硬件描述语言VHDL可编程逻辑器件CPLD系统芯片
- 一种应用于微型飞行器的多址数字通信方法及其系统
- 本发明涉及一种应用于微型飞行器的多址数字通信方法及其系统，属于微型飞行器技术领域。首先对第一微型飞行器发送的数据信息进行加密和协议转换；对转换后的数据信息进行信道编码；对编码后的数据信息进行数字调制；对于调制后的数据信号...
- 周兆英王晓浩魏强熊沈蜀金敏肖萧索利洋
- 文献传递
- 微型胶体推进器及其制作方法
- 微型胶体推进器及其制作方法，属于微小卫星应用的电推进器技术领域。该微型胶体推进包括上层硅片、下层硅片和中间的玻璃垫片，形成“三明治”结构。通过采用硅晶片和其微型化设计及微机械制造的方法，大幅度降低了微型胶体推进器的体积、...
- 周兆英熊继军叶雄英王晓浩
- 文献传递
- 用于高场非对称波形离子迁移谱系统的阵列式微法拉第筒离子检测器被引量：6
- 2010年
- 提出了一种可减小高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)系统体积的阵列式微法拉第筒离子检测器,该检测器具有结构简单、稳定性好、噪声小、量程大、可在大气压条件下工作等优点。阵列式微法拉第筒包括栅电极、敏感电极、屏蔽电极3部分,其中敏感电极由数十个直径为200μm的硅圆柱交错排列而成。通过典型的MEMS工艺制作,法拉第筒与平板型FAI MS系统的MEMS工艺完全兼容。Fluent仿真结果表明,这种阵列式的设计,气体运动阻力较小,流场分布有助于载气中离子被充分吸收。与KEITHLEY237电流表级联后,测得阵列式微法拉第筒的噪声水平在0.5 pA以下。对丙酮样本进行了实验测试,结果显示其输出信号为210 pA左右,表明该阵列式微法拉第筒满足FAIMS系统的要求。
- 唐飞王晓浩张亮
- 关键词：微机电系统法拉第筒微弱电流
- 微型电磁式振动能量采集器及自主供电模块
- 一种微型电磁式振动能量采集器及自主供电模块，该能量采集器包括绝缘衬底、感应线圈、中间层、铜基底、固定永磁体、固支梁与振动永磁体，所述感应线圈形成在所述绝缘衬底上，所述固定永磁体和所述铜基底，中间层由上至下层叠形成在所述绝...
- 董瑛张文阳谭羽杉王晓浩
