- 小功率微波微等离子体源的集成研究被引量：1
- 2014年
- 提出了一种小功率集成微波微等离子体源的结构,通过平面微带渐变螺旋电感耦合线圈激励微波微等离子体。研究表明,该集成微波微等离子体源具有频率可调、功率可调的特点,频率范围为2.3~2.6GHz,输出功率范围为20~40dBm。在频率为2477MHz、空气真空度为3.7 Torr,输入功率为2.15W时,平面微带渐变螺旋电感耦合线圈能较好激励起微波微等离子体,这为微波微等离子体源的小型化研究提供了基础。
- 廖斌王柯乔黄加华朱守正
- 关键词：频率可调
- 一种小功率集成微波微等离子体源
- 本实用新型公开了一种小功率集成微波微等离子体源，包括锁相环频率合成器；可调衰减器，与锁相环频率合成器连接；宽带功率放大器，与可调衰减器连接；环形器，与宽带功率放大器连接；平面微带渐变螺旋电感耦合线圈，与环行器连接。工作时...
- 廖斌王柯乔黄加华朱守正
- 文献传递
- 一种小功率集成微波微等离子体源
- 本发明公开了一种小功率集成微波微等离子体源，包括锁相环频率合成器；可调衰减器，与锁相环频率合成器连接；宽带功率放大器，与可调衰减器连接；环行器，与宽带功率放大器连接；平面微带渐变螺旋电感耦合线圈，与环行器连接。工作时小功...
- 廖斌王柯乔黄加华朱守正
- 文献传递
- 小型微波微等离子体功率源的集成研究
- 等离子体在工业生产中有着广泛的应用。微波微等离子体的激励源是研究等离子体的基础。相比于以往单一频点单一功率的微波微等离子体激励源,本文设计的微波等离子体激励源具有频率可调,功率可调的特点,并且集成度高,体积小,具有一定便...
- 王柯乔
- 关键词：锁相环频率合成器宽带功率放大器
- 一种小功率集成微波微等离子体源
- 本发明公开了一种小功率集成微波微等离子体源，包括锁相环频率合成器；可调衰减器，与锁相环频率合成器连接；宽带功率放大器，与可调衰减器连接；环形器，与宽带功率放大器连接；平面微带渐变螺旋电感耦合线圈，与环行器连接。工作时小功...
- 廖斌王柯乔黄加华朱守正
- 文献传递
