郭晓光
- 作品数：55 被引量：131H指数：7
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺化学工程文化科学自动化与计算机技术更多>>
- 一种楔角晶片的研磨装置及研磨方法
- 本发明公开了一种楔角晶片的研磨装置及研磨方法，所述装置包括抛光头、研磨垫和下盘，所述的抛光头包括旋转主轴、安装板、压力传感器、轴承、双轴倾角传感器、声发射传感器、连接板、轴承套、端盖、倾角调整单元、载物盘、传动环和滑垫。...
- 康仁科朱祥龙董志刚贾玙璠高尚郭晓光
- 金刚石化学机械抛光研究现状被引量：7
- 2020年
- 金刚石由于其独特的性质成为未来科技的重要材料,但较差的表面质量会影响其在高科技领域的应用,因此实现金刚石超精密加工是提高金刚石应用的关键。化学机械抛光(CMP)是集成电路中获得全局平坦化的一项重要工艺,能够实现金刚石的超精密加工。介绍了现有的金刚石加工方法和金刚石化学机械抛光的研究现状,并与其他的加工方法(机械抛光、摩擦化学抛光、热化学抛光等)进行了对比,其他加工方法存在加工后表面损伤严重、加工表面粗糙度无法满足需要等问题。金刚石的化学机械抛光工艺经历了由高温抛光向常温抛光的发展过程,该加工方法设备简单、成本低、抛光后的表面粗糙度(Ra)可以达到亚纳米级别。此外,金刚石的分子动力学模拟(MD)使人们从原子尺度对金刚石抛光过程中纳米粒子的相互作用和抛光机理有了深入了解。虽然金刚石化学机械抛光还存在着许多亟待解决的问题,但是其发展前景依旧十分乐观。
- 袁菘郭晓光金洙吉康仁科郭东明
- 关键词：金刚石化学机械抛光半导体平坦化超精密加工
- 金刚石晶片紫外光辅助化学机械抛光的加工装置及工艺
- 本发明提供一种金刚石晶片紫外光辅助化学机械抛光的加工装置及工艺，装置包括抛光装置、抛光液供给装置和紫外光照射装置；所述抛光盘为所述抛光盘为JGS1石英玻璃制成，所述抛光液供给装置位于所述抛光盘的上方，所述紫外光照射装置位...
- 郭晓光袁菘董志刚欧李苇康仁科
- 基于磨粒三维轨迹的钽酸锂双面研磨均匀性
- 2024年
- 为了改善钽酸锂(LiTaO_(3),LT)晶片的材料去除均匀性,提出一种考虑磨粒三维微切削的材料去除均匀性模型。根据钽酸锂晶体脆/塑性去除机理,结合研磨垫表面磨粒的分布特征,运用力平衡方程计算了研磨垫上各磨粒的切入深度与切屑截面积。通过运动学分析推导了双面研磨中磨粒运动轨迹方程,建立了考虑磨粒三维微切削的材料去除均匀性模型,并研究了齿圈与太阳轮转速比m、下研磨盘与太阳轮转速比n对材料去除均匀性的影响。最后,开展了钽酸锂晶片固结磨料双面研磨实验,测量了不同转速比m,n下晶片的总厚度变化,验证了模型。实验结果表明:材料去除均匀性受转速比m,n的影响较大,当转速比m,n分别为0.85,1.3时材料去除均匀性最佳,此时晶片的总厚度变化为0.83μm,实验结果与仿真一致。所建模型对改善钽酸锂晶片双面研磨材料的去除均匀性有一定的指导意义。
- 薛赛赛郭晓光贾玙璠高尚康仁科
- 光滑粒子流体动力学方法模拟石英玻璃超精密切削过程被引量：2
- 2016年
- 应用无网格光滑粒子流体动力学（SPH）方法,建立了石英玻璃SPH模型,模拟了石英玻璃超精密切削过程,分析了0.1~1.0μm多组切削深度下材料去除模式和应变分布情况,以及不同刀具前角时切削过程中裂纹形成机理及其对超精密加工过程的影响。仿真结果表明：石英玻璃能在微纳尺度上实现塑性域去除。通过研究微裂纹与塑性应变的关系发现：在前角为0°、切削速度10 m/s、刀具钝圆半径0.1μm的仿真条件下,石英玻璃塑脆转变临界切削深度是0.18μm;刀具负前角切削可以得到更好的表面加工质量,说明负前角切削更适合石英玻璃超精密加工。金刚石飞切实验数据验证了SPH仿真结果的合理性。
- 郭晓光郑桂林康仁科金洙吉郭东明
- 关键词：石英玻璃光滑粒子流体动力学仿真超精密加工
- PSD法在超精密加工质量评价中的应用被引量：1
- 2018年
- 功率谱密度法(Power Spectral Density,PSD)从物理意义上来讲就是单位频率内的信号能量,用于描述随机过程的功率与频率之间的关系。PSD法可以用于分析超精密加工表面的形貌特征,也可以分析不同频率在表面形貌中的分布,从而评价加工工艺对超精密加工表面质量的影响。利用一维PSD的方法,评价了磨削硅片、抛光硅片、抛光铜片表面的质量,通过结果分析可知,与表面粗糙度方法相比,PSD方法可以更全面地评价被加工工件的表面质量。因此,需要在实验室教学过程中引导学生关注功率谱密度分析方法,建立功率谱密度函数与超精密加工表面质量之间的关系。
- 闫英周平郭晓光王一奇白倩司立坤
- 关键词：功率谱密度超精密加工表面形貌
- 一种晶片面形和厚度差调整装置及方法
- 本发明公开了一种晶片面形和厚度差调整装置及方法，所述装置包括床身、粗磨轴、精磨轴、抛光轴、转台、四个工作台、存储器和控制器。本发明的装置采用了三主轴四工位的布局，极大提高了晶片加工装备的集成度；本发明方法的调整顺序为粗磨...
- 康仁科朱祥龙董志刚姚卫华郭晓光申继承
- 文献传递
- 基于精密加工技术的开放性创新实验教学研究
- 2023年
- 文章以大连理工大学机械学院基于精密加工技术的开放性创新实验教学为例,研究了以理论教学为依托,以实验工程应用为基础的精密加工技术方向的创新实验课程体系建设方案,以及开放式创新实验教学的导师制人才培养机制。通过整合实验资源,完善实验室管理方法和网络化平台,营造高效灵活的开放式创新训练软硬件环境;通过课堂理论教学与创新实践深度融合的课程建设,增加启发式教学和实践教学的比重,培养学生创新意识和创新能力,形成了理论―实践的系列专题课程,实现了精密加工技术方向的科研成果快速向本科生创新实践教学资源转化,提高了学生的创新实践能力。
- 高尚郭晓光董志刚朱祥龙康仁科
- 关键词：教学模式教学方法
- KDP晶体三倍频晶面微观力学行为及加工性能被引量：4
- 2016年
- 为了揭示磷酸二氢钾(KDP)晶体三倍频晶面微观弹塑性力学行为及加工性能,开展了纳米压痕研究。建立了KDP晶体三倍频晶面各向异性力学模型,基于光滑粒子流体动力学(SPH)方法对纳米压痕进行了数值仿真并完成了纳米压痕测试实验。实验结果表明:实验与仿真计算的载荷-压入深度关系曲线的相关系数为0.996 328,吻合度较高,验证了力学模型的正确性,得出KDP晶体三倍频晶面的屈服强度为240MPa。数值仿真结果显示:由于材料的各向异性,工件内部应力呈不规则圆弧状分布;载荷大小与等效应力影响深度呈近似线性递增关系;材料表面等效塑性应变分布形状与压头投影面几何形状相类似,存在复映效果。当载荷小于2mN时,各压头的残余应力深度差异性较小(小于0.2μm);随着载荷逐渐增大,这种差异不断扩大。得到的结果为实现KDP晶体三倍频晶面的高效低损伤加工提供了理论支撑。
- 郭晓光刘子源郑桂林郭东明
- 关键词：纳米压痕光滑粒子流体动力学数值仿真
- 基于分子动力学的铸造高铬合金的建模方法
- 本发明基于分子动力学的铸造高铬合金的建模方法属于合金材料结构设计领域，涉及一种基于分子动力学方法高铬合金的建模方法。建模方法利用分子动力学建模软件进行铸造高铬合金的组成结构的建模，先获取铸造高铬合金的特征参数，构造体心立...
- 郭晓光李洋翟昌恒康仁科金洙吉
- 文献传递
