闫许
- 作品数：20 被引量：45H指数：5
- 供职机构：重庆大学更多>>
- 发文基金：重庆市科学技术委员会院士基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程建筑科学更多>>
- 光栅平动式光调制器的光学特性分析和仿真
- 光栅平动式光调制器是一种基于MEMS工艺的光调制器,本文依据菲涅尔衍射理论和傅里叶光学理论对光栅平动式光调制器工作状态的光学特性进行了详细的理论分析和计算机仿真.结果表明:光栅平动式光调制器在工作中处于开态时,可动光栅下...
- 张洁黄尚廉闫许张智海伍艺
- 关键词：光调制器MEMS衍射
- 文献传递
- 光栅平动式光调制器光学特性分析(英文)被引量：5
- 2006年
- 提出了一种基于微光机电系统的可用于投影显示及相关器件的新型光栅光调制器,介绍了其结构、工作原理和加工流程。对器件进行光学分析,优化和仿真,得出器件结构参数与光学特性之间关系。器件的可动光栅占空比e=0.5,光栅常数d=6μm,长度L=39μm,宽度w=36μm,边距w0=1.5μm时,理论上±1级衍射效率η=37.0%,对比度V=625;可动光栅与下电极在开态和关态时间距分别为0.65μm和0.78μm,器件单像素尺寸为51μm×51μm。
- 黄尚廉闫许张洁张智海付红桥
- 关键词：微光机电系统空间光调制器光栅衍射仿真
- 静电简支梁式干涉光调制器
- 本发明涉及一种静电简支梁式干涉光调制器，主要由衬底、控制电路、下电极层、简支梁、可动反射镜以及固定玻璃平板构成。在衬底上形成有下电极层和控制电路，下电极层与控制电路各单元电极控制端接触；在下电极层上淀积绝缘层，绝缘层之上...
- 黄尚廉张洁张智海韩磊闫许伍艺
- 文献传递
- 悬臂梁式闪耀光栅光调制器及阵列
- 本发明涉及一种悬臂梁式闪耀光栅光调制器及阵列，它具有一个基底和一个电驱动装置，基底上依次形成有下电极层和绝缘层，在绝缘层上方悬浮有多个具有反射表面的带状物，绝缘层和带状物之间留有间隙，这些带状物由各自的一个端部支撑在绝缘...
- 黄尚廉张洁付红桥闫许张智海伍艺
- 文献传递
- 反射镜平动式光栅光调制器光学分析与仿真被引量：1
- 2006年
- 提出一种基于MEMS的光栅光调制器,可用于投影显示等相关领域。介绍了其结构、工作原理及其加工流程,对器件进行傅里叶光学分析。分析得出,器件单像素在±1级对比度和光学衍射效率最大值分别为1225和51.4%,形成阵列后理论上最大值分别为无穷大和81%。采用Coventor软件进行光学仿真,得到器件实际情况下衍射花样,器件由于残余应力以及器件下拉时静电力作用产生翘曲变形,光学性能有所降低。
- 闫许黄尚廉张洁张智海付红桥陈伟民
- 关键词：微光机电系统空间光调制器光栅衍射傅里叶光学
- 闪耀式光栅光调制器及其机电耦合分析与仿真
- 提出一种基于微悬臂梁结构的新型闪耀式光栅光调制器,介绍其结构组成及工作原理。建立了器件的两种假设受力模型Ⅰ、模型Ⅱ,根据极小势能原理推导出器件变形方程,通过瑞利一里茨法则得出器件的固有频率,从理论上分析器件的结构尺寸、材...
- 闫许黄尚廉张洁张智海陈伟民
- 关键词：微光机电系统光栅光调制器悬臂梁机电特性
- 文献传递
- 闪耀式光栅光调制器及其机电耦合分析与仿真
- 本文提出一种基于微悬臂梁结构的新型闪耀式光栅光调制器,介绍其结构组成及工作原理.建立了器件的两种假设受力模型Ⅰ、模型Ⅱ,根据极小势能原理推导出器件变形方程,通过瑞利-里茨法则得出器件的固有频率,从理论上分析器件的结构尺寸...
- 闫许黄尚廉张洁张智海陈伟民
- 关键词：微光机电系统光栅光调制器悬臂梁机电特性
- 文献传递
- 反射镜平动式光栅光调制器的光学特性分析被引量：8
- 2006年
- 提出了一种反射镜平动式光栅光调制器,每个像素主要由一个可动反射镜和上面的固定光栅组成,通过控制可动反射镜和固定光栅的距离达到对入射光的调制·依据标量衍射理论对反射镜平动式光栅光调制器工作状态的光学特性进行了详细的理论分析;并仿真了光调制器的结构参量对衍射效率和对比度的影响·发现:当可动平板和光栅的距离为λ0和5λ0/4,像素表现为暗态和亮态;这种光调制器的工作原理决定了其有效面积大,具有形成面阵的潜力;固定光栅占空比为1/2时,对比度最优;同时给出了对比度随入射光带宽的关系,即带宽越大,对比度急剧下降·
- 张洁黄尚廉闫许伍艺张智海
- 关键词：光调制器对比度衍射效率
- 光栅光阀的光学特性分析和仿真被引量：25
- 2005年
- 光栅光阀是一种基于微型机电系统(MEMS)工艺的光调制器,利用其表面具有的可选择的变形部分(可动光阀),提供衍射光栅,被应用于投影显示等领域。光栅光阀的光学性能决定其在投影显示系统中应用的成败。依据多光束干涉理论和衍射理论对光栅光阀工作状态的光学特性进行了详细的理论分析和计算机仿真。结果说明,光栅光阀在工作中处于“开”态时,可动光阀下降的距离应该是入射波长的1/4倍;设计时选择h=0λ/2,δ=0λ/4;当间隙处的反射率不同时,占空比对光栅光阀的光学特性有着不同的影响,给出了占空比与反射率的最佳组合值。
- 张洁黄尚廉付红桥闫许陈伟民
- 关键词：衍射光栅光栅光阀微型机电系统
- 基于MEMS光栅平动式光调制器结构参数分析与实验
- 投影显示器件正向多元化方向发展，而基于MEMS的微显示器件以其优异的性能已成为带动下一代显示产业发展的一个重要分支，但国内对这类器件研究较晚，且受到国外专利限制，因此开发一种具有自主知识产权的微显示器件具有重要科学意义和...
- 闫许
- 关键词：微光机电系统空间光调制器光栅衍射微位移测量
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