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高云
作品数:
11
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
张兴旺
中国科学院半导体研究所
陈诺夫
中国科学院半导体研究所
屈盛
中国科学院半导体研究所
游经碧
中国科学院半导体研究所
尹志岗
中国科学院半导体研究所
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11篇
中文专利
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1篇
一般工业技术
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6篇
纳米
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旋涂
4篇
磁性
4篇
磁性纳米
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等离子体刻蚀
3篇
刻蚀
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电极
2篇
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粘附
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欧姆接触
2篇
纳米颗粒阵列
2篇
介质
2篇
浸涂
2篇
记录介质
2篇
盖层
2篇
高温退火
机构
11篇
中国科学院
作者
11篇
高云
11篇
张兴旺
6篇
陈诺夫
5篇
屈盛
4篇
游经碧
3篇
董敬敬
3篇
尹志岗
2篇
范亚明
2篇
蔡培锋
2篇
高红丽
1篇
刘建庆
1篇
陈涌海
1篇
张曙光
1篇
王占国
1篇
谭海仁
1篇
白一鸣
年份
1篇
2012
5篇
2011
3篇
2010
2篇
2009
共
11
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在图形化的半导体衬底上制作有序半导体纳米结构的方法
本发明公开了一种在图形化的半导体衬底上制作有序半导体纳米结构的方法,包括:步骤1:选择半导体衬底,通过光刻方法在衬底上制作出条形或圆孔图形;步骤2:配置含有胶体金的溶液;步骤3:将制作出条形或圆孔图形的衬底浸入配置的含有...
陈涌海
刘建庆
高云
徐波
张兴旺
王占国
文献传递
图案化纳米模板及其制备方法
一种制备图案化纳米模板的方法,包括以下步骤:步骤1:利用提拉法,在亲水性良好的平面衬底上组装PS球,得到单层有序的PS球薄膜;步骤2:利用氧等离子体刻蚀PS球,改变PS球的大小;步骤3:旋涂异丙醇稀释的TiO<Sub>2...
董敬敬
张兴旺
尹志岗
谭海仁
高云
张曙光
白一鸣
文献传递
制备有序Al纳米颗粒的方法
本发明一种制备有序Al纳米颗粒的方法,其特征在于,包括如下步骤:1)取一衬底;2)在衬底上旋涂一层聚甲基丙烯酸甲酯;3)利用电子束曝光在聚甲基丙烯酸甲酯上制备模板,形成所需图案;4)利用高纯Al靶作为金属Al薄膜沉积的溅...
游经碧
张兴旺
高云
董敬敬
陈诺夫
文献传递
一种改善ZnO薄膜欧姆接触的方法
本发明公开了一种改善ZnO薄膜欧姆接触的方法,该方法是在沉积金属电极之前,利用氢等离子体处理ZnO薄膜的电极接触区域,然后在经氢等离子体处理的ZnO薄膜电极接触区域沉积双层金属电极,形成欧姆接触。由于氢等离子体处理导致氢...
张兴旺
蔡培锋
游经碧
范亚明
高云
陈诺夫
文献传递
制备c轴垂直取向图案化磁记录介质的方法
一种制备c轴垂直取向图案化磁记录介质的方法,该方法包括:步骤1:在衬底上,溅射一层缓冲层;步骤2:在缓冲层上溅射一层取向诱导层;步骤3:利用浸涂或者旋涂的方法,在取向诱导层上自组装一层磁性纳米颗粒阵列;步骤4:在磁性纳米...
高云
张兴旺
尹志岗
屈盛
高红丽
文献传递
检测嵌段共聚物胶束溶液负载金属盐能力的方法
本发明一种检测嵌段共聚物胶束溶液负载金属盐能力的方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:步骤1:在固定浓度的嵌段共聚物胶束溶液中,分别加入不同量的金属盐,从而得到多组具有不同金属盐浓度的胶束溶液;步骤2:利用旋涂法将多组负...
高云
屈盛
张兴旺
陈诺夫
文献传递
制备平行取向FePt磁性纳米复合薄膜的方法
本发明涉及一种制备平行取向FePt磁性纳米复合薄膜的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:利用双亲嵌段共聚物PS-P4VP在甲苯中自组装成反胶束,然后将金属盐FeCl<Sub>3</Sub>和H<Sub>2</Sub>...
张兴旺
高云
屈盛
陈诺夫
文献传递
一种改善ZnO薄膜欧姆接触的方法
本发明公开了一种改善ZnO薄膜欧姆接触的方法,该方法是在沉积金属电极之前,利用氢等离子体处理ZnO薄膜的电极接触区域,然后在经氢等离子体处理的ZnO薄膜电极接触区域沉积双层金属电极,形成欧姆接触。由于氢等离子体处理导致氢...
张兴旺
蔡培锋
游经碧
范亚明
高云
陈诺夫
文献传递
制备c轴垂直取向图案化磁记录介质的方法
一种制备c轴垂直取向图案化磁记录介质的方法,该方法包括:步骤1:在衬底上,溅射一层缓冲层;步骤2:在缓冲层上溅射一层取向诱导层;步骤3:利用浸涂或者旋涂的方法,在取向诱导层上自组装一层磁性纳米颗粒阵列;步骤4:在磁性纳米...
高云
张兴旺
尹志岗
屈盛
高红丽
一种制备氧化锌纳米材料的方法
本发明公开了一种制备氧化锌纳米材料的方法,该方法包括:用磁控溅射法在硅衬底上沉积氧化锌薄膜作为籽晶层;将该籽晶层放入反应釜中,利用水热反应制备氧化锌纳米结构材料,并通过调节反应参数来实现氧化锌纳米材料的形貌控制并增强其发...
董敬敬
张兴旺
游经碧
高云
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