您的位置： 专家智库 > >

于海涛

作品数：67 被引量：36H指数：5
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金中国科学院知识创新工程重要方向项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 51篇专利
  • 13篇期刊文章
  • 2篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 20篇自动化与计算...
  • 5篇电子电信
  • 4篇一般工业技术
  • 4篇理学
  • 3篇金属学及工艺
  • 2篇建筑科学
  • 1篇机械工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇交通运输工程

主题

  • 25篇感器
  • 25篇传感
  • 25篇传感器
  • 17篇微悬臂梁
  • 11篇悬臂
  • 11篇悬臂梁
  • 11篇谐振
  • 10篇纳米
  • 8篇谐振式
  • 7篇锁相
  • 7篇锁相环
  • 6篇芯片
  • 5篇微悬臂
  • 5篇微悬臂梁传感...
  • 5篇介孔
  • 4篇乙酸钠
  • 4篇数据采集
  • 4篇数字频率合成
  • 4篇数字频率合成...
  • 4篇频率合成器

机构

  • 67篇中国科学院
  • 4篇中国科学院研...
  • 2篇苏州大学
  • 2篇上海大学
  • 1篇江苏大学

作者

  • 67篇于海涛
  • 63篇李昕欣
  • 48篇许鹏程
  • 13篇徐铁刚
  • 9篇刘民
  • 9篇陈滢
  • 6篇李伟
  • 6篇包宇洋
  • 5篇李明
  • 5篇李俊纲
  • 3篇王跃林
  • 3篇张志祥
  • 3篇柴光飞
  • 3篇赵伟
  • 2篇徐涛
  • 2篇熊斌
  • 2篇徐大诚
  • 2篇杨天天
  • 2篇李俊刚
  • 2篇陶亦涵

传媒

  • 5篇传感技术学报
  • 4篇仪表技术与传...
  • 2篇微纳电子技术
  • 1篇机械工程学报
  • 1篇现代电子技术
  • 1篇第十二届全国...

年份

  • 4篇2023
  • 3篇2022
  • 6篇2021
  • 5篇2020
  • 4篇2019
  • 5篇2018
  • 1篇2017
  • 4篇2016
  • 9篇2015
  • 5篇2014
  • 1篇2013
  • 6篇2012
  • 4篇2011
  • 4篇2010
  • 3篇2009
  • 3篇2007
共 67 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
一种 CO<sub>2</sub> 传感材料性能的测试方法
本发明提供一种CO<Sub>2</Sub>传感材料性能的测试方法，为使用谐振式微悬臂梁作为质量型测试元件，将CO<Sub>2</Sub>传感材料负载于谐振式微悬臂梁的敏感区域，在一定温度下通入CO<Sub>2</Sub>...
李昕欣许鹏程于海涛
文献传递
一种谐振频率测量及跟踪系统和方法
本发明涉及一种谐振频率测量及跟踪系统和方法，主要组成包括计算机、多功能数据采集卡、直接数字频率合成器和传感器接口电路。与传统锁相环电路相比，省去了移相器，减少了不必要单元对信号造成的干扰，提高了信号精度。本发明简化了谐振...
赵伟李昕欣于海涛许鹏程
文献传递
利用功能化碳纳米管为敏感材料的微悬臂梁传感器的应用
本发明涉及一种利用功能化碳纳米管为敏感材料的微悬臂梁传感器的制造方法，属于微纳传感器领域。特征在于采用多壁碳纳米管为传感器制造原料，经过强酸预处理，使多壁碳纳米管表面形成可功能化修饰的反应活性点。然后依据分子自组装技术，...
李昕欣许鹏程于海涛徐铁刚李俊刚
文献传递
利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法
本发明涉及一种利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法及悬臂梁的制作，特征在于在悬臂梁高阶弯曲模态振幅为零处和悬臂梁的自由端处表面分别淀积不同的特异性识别的敏感膜，利用振幅为零处在高阶模态下质量检测灵敏度为零，而自由端...
于海涛李昕欣李俊纲许鹏程陈滢
文献传递
液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法
本发明提供一种液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法，包括在谐振式微悬臂梁上以光刻胶为牺牲层，光刻形成环状凹槽；沉积疏水材料，在环状凹槽中形成疏水侧壁作为敏感池，其余部分形成疏水薄膜；通过刻蚀图形化疏水材料，在疏...
于海涛许鹏程李昕欣陈滢包宇洋
文献传递
一种原位实时程序升温分析方法
一种原位实时程序升温分析方法，包括：将待测样品滴加在至少一个测试传感器(1)的样品涂覆区；将测试传感器(1)在第一预设温度范围内进行程序升温以获得基线；基线为通过记录测试传感器(1)在程序升温过程中的谐振频率变化数据得到...
李昕欣许鹏程姚方兰李昕昱于海涛
在微悬臂梁表面一步制造羧酸功能化单层膜的方法
本发明涉及一种在微悬臂梁的二氧化硅表面一步制造羧酸功能化自组装单层膜的新方法，属于纳米功能薄膜制造领域。本发明的特征是采用三羟基硅基乙酸钠水溶液(Carboxyethylsilanetriol，sodium salt；2...
许鹏程李昕欣陈滢于海涛刘民
具有螺旋孔道的羧基功能化介孔纳米颗粒的制造方法
本发明涉及一种具有螺旋孔道的羧基功能化介孔纳米颗粒的制造方法，属于纳米功能材料制造领域。本发明的特征是采用三羟基硅基乙酸钠水溶液（简称为CES，25wt%）为制造具有螺旋孔道的羧基功能化介孔纳米颗粒的关键原材料，以表面活...
许鹏程于海涛李昕欣徐铁刚
文献传递
一种微悬臂谐振结构传感器及其制造方法
本发明提供一种微悬臂谐振结构传感器的制造方法，包括如下步骤：提供一衬底，所述衬底中形成有微悬臂结构；所述微悬臂结构的微悬臂梁表面形成有亲水层；在所述微悬臂梁的敏感区域表面形成一保护层；在所述衬底表面形成疏水分子层；去除所...
于海涛李昕欣许鹏程王家畴包宇洋
文献传递
用于TEM构效关联直接原位表征的芯片及其制作方法
本发明提供一种用于TEM构效关联直接原位表征的芯片及其制作方法，芯片包括主芯片及辅芯片，其中，主芯片包括：具有观测孔的悬臂梁、主芯片凹槽、主芯片窗口及气孔；辅芯片包括：辅芯片窗口；通过悬臂梁的谐振用以检测位于悬臂梁上的待...
李昕欣于海涛许鹏程李伟王雪晴李明
文献传递
全选 清除 导出
共7页<1234567>
聚类工具0