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何晓光
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中国科学院半导体研究所
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电子电信
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理学
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合作作者
李晓静
中国科学院半导体研究所
赵德刚
中国科学院半导体研究所
乐伶聪
中国科学院半导体研究所
杨静
中国科学院半导体研究所
杨辉
中国科学院半导体研究所
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何晓光
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减小GaN基蓝紫光端发射激光器电子泄漏的方法
一种减小GaN基蓝紫光端发射激光器中电子泄漏的方法,包括以下步骤:步骤1:在一蓝宝石衬底上依序制作低温成核层、n型接触和电流扩展层、n型AlGaN限制层、n型GaN波导层、InGaN/GaN量子阱有源区、InGaN插入层...
乐伶聪
赵德刚
江德生
刘宗顺
陈平
杨静
何晓光
李晓静
杨辉
文献传递
利用MOCVD生长参数控制GaN的C含量和电阻率
本文研究了MOCVD生长过程中的各种参数对GaN材料中的C杂质含量的影响.共生长了五个GaN样品,每个样品包括5-6个子层,每个样品样品中从最底层到最顶层阶梯改变一个生长参数,通过二次离子质谱(SIMS)测量C杂质浓度....
何晓光
赵德刚
乐伶聪
李晓静
杨静
减小GaN基蓝紫光端发射激光器电子泄漏的方法
一种减小GaN基蓝紫光端发射激光器中电子泄漏的方法,包括以下步骤:步骤1:在一蓝宝石衬底上依序制作低温成核层、n型接触和电流扩展层、n型AlGaN限制层、n型GaN波导层、InGaN/GaN量子阱有源区、InGaN插入层...
乐伶聪
赵德刚
江德生
刘宗顺
陈平
杨静
何晓光
李晓静
杨辉
一种高阻GaN薄膜的制备方法
本发明公开了一种高阻GaN薄膜及其制作方法。该高阻GaN薄膜包括:衬底;GaN低温成核层,其制作在衬底上;GaN高阻层,其制作在GaN低温成核层上。该高阻GaN薄膜利用MOCVD设备,并用三甲基镓和氨气作为镓源和氮源,以...
何晓光
赵德刚
江德生
刘宗顺
陈平
杨静
乐伶聪
李晓静
杨辉
文献传递
InGaN/AlInGaN多量子阱太阳能电池结构
一种InGaN/AlInGaN多量子阱太阳能电池结构,包括:一衬底;在衬底上依序制作有低温成核层、非故意掺杂缓冲层、n型掺杂GaN层、非掺杂InGaN/AlInGaN多量子阱层、P型掺杂氮化镓层,该n型掺杂GaN层上面的...
杨静
赵德刚
乐伶聪
李晓静
何晓光
文献传递
高电阻低位错GaN薄膜及制备方法
一种高阻低位错GaN薄膜,包括:一衬底;一GaN低温成核层,其制作在衬底上;一GaN合并层,其制作在GaN低温成核层上;一GaN高阻层,其制作在GaN合并层上。本发明是通过控制反应室压强,实现非故意可控碳掺杂,从而达到既...
何晓光
赵德刚
江德生
刘宗顺
陈平
杨静
乐伶聪
李晓静
杨辉
文献传递
InGaN/AlInGaN多量子阱太阳能电池结构
一种InGaN/AlInGaN多量子阱太阳能电池结构,包括:一衬底;在衬底上依序制作有低温成核层、非故意掺杂缓冲层、n型掺杂GaN层、非掺杂InGaN/AlInGaN多量子阱层、P型掺杂氮化镓层,该n型掺杂GaN层上面的...
杨静
赵德刚
乐伶聪
李晓静
何晓光
文献传递
含有变In组分InGaN/GaN多层量子阱结构的背入射太阳能电池
一种含有变In组分InGaN/GaN多层量子阱结构的背入射太阳能电池,包括:一衬底;在衬底上依序制作有低温氮化镓成核层、非故意掺杂氮化镓缓冲层、n型掺杂GaN层、第一非掺杂高In组分量子阱层、第二非掺杂低In组分量子阱层...
杨静
赵德刚
李亮
吴亮亮
乐伶聪
李晓静
何晓光
文献传递
InGaN/GaN量子阱厚度对局域态效应的影响机制
本文主要研究了高In组分InGaN/GaN多量子阱(MQWs)中阱层厚度的变化对阱内局域态的影响机理。采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)技术分别制备了不同阱厚的MQWs样品,并利用变温光致发光(PL)测试手段对不同...
刘炜
赵德刚
乐伶聪
杨静
何晓光
李晓静
李翔
侍铭
赵丹梅
低电阻率P型铝镓氮材料及其制备方法
本发明公开了一种低电阻率P型铝镓氮材料及其制备方法,该制备方法包括:对衬底升温,在氢气环境下热处理,去除衬底表面的杂质;在衬底上生长低温成核层,为后续生长材料提供成核中心;在低温成核层上生长一层非故意掺杂模板层;在非故意...
杨静
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