何苗
- 作品数:36 被引量:69H指数:4
- 供职机构:华中科技大学更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国防科技重点实验室基金更多>>
- 相关领域:电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
- 微透镜阵列的离子束溅射刻蚀研究被引量:4
- 1997年
- 利用扫描电子显微镜(SEM)和表面探针测试,分析了采用离子束溅射刻蚀技术制作的石英微透镜阵列器件的表面微观形貌,讨论了引起微透镜表面缺陷的原因及所采取的改善表面形貌的措施,研究了采用不同层次的光致抗蚀剂微透镜图形的固化技术后,经离子束溅射刻蚀制作出的微透镜阵列器件的表面形貌差异,定性给出了表面探针测试的适用范围,此外还介绍了对所制样品所做的几项主要的处理操作。
- 张新宇易新建赵兴荣麦志洪何苗刘鲁勤
- 关键词:离子束刻蚀
- 大F数硅微透镜阵列的制作及光学性能测试研究
- 提出了一种补偿刻蚀法:在经过常规光刻热熔成形和离子束刻蚀技术制成的硅微透镜阵列上再涂敷几层光刻胶,以降低各单元微透镜的曲率。然后再次进行加热固化和离子束刻蚀。扫描电子显微镜(SEM)显示微透镜阵列为表面极为平缓的球冠形阵...
- 何苗易新建程祖海黄光刘鲁勤
- 关键词:微透镜阵列离子束刻蚀光刻胶点扩散函数
- 文献传递
- 面阵IRCCD摄像芯片用折射微透镜阵列的离子束刻蚀制作被引量:2
- 1999年
- 采用氩离子束刻蚀制作与一种128×128元PtSiIRCCD摄像芯片匹配的单片硅折射微透镜阵列.所制成的微小光学阵列元件的填充系数高于95%,每单元硅折射微透镜为矩底拱面形,其近轴光(3~5μm光谱波段)的焦距约为80μm。
- 张新宇易新建何苗赵兴荣
- 关键词:电荷耦合器件
- 微透镜和高Tc超导红外探测器组件被引量:1
- 1998年
- 本文首次报道了利用微透镜阵列来提高YBCO高Tc超导薄膜红外探测器的光响应特性,介绍了利用光刻/离子束刻蚀的方法制作单片线列石英微透镜阵列的工艺以及制备线列YBCO高Tc超导薄膜红外探测器的方法,并将所制的石英微透镜阵列应用于YBCO超导器件。实验结果显示,所制超导红外探测器阵列的光响应特性有明显改善。
- 张新宇易新建赵兴荣何苗张智刘鲁勤
- 关键词:YBCO红外探测器超导器件
- 128×128凹型GaAs微透镜阵列器件的制作研究被引量:2
- 2001年
- 提出了一种制作 12 8× 12 8球冠型GaAs凹折射微透镜阵列新的方法———曲率倒易法。扫描电子显微镜(SEM )显示微透镜阵列为表面轮廓清晰的凹球冠面阵列 ,表面探针测试结果显示阵列表面光滑、单元重复性好 ,其凹深为 1 2 6 8μm ,焦距为 - 35 2 0 4μm。
- 何苗易新建程祖海陈四海程志军
- 关键词:砷化镓
- 一种制作多位相衍射光学元件的工艺
- 一种制作多位相衍射光学元件的工艺,在初始的光学元件基片上首先溅射一层铬膜,当从背面对负性光刻胶曝光时形成掩蔽;各位相台阶的位置由第一块掩模版决定,后面的各制作步骤不再涉及确定台阶的位置,且后续的掩模版使用只要求与第一块掩...
- 陈四海李毅赖建军何苗易新建
- 文献传递
- 互联网金融P2P网络借贷模式及风险分析
- 21世纪以来,随着互联网技术与传统金融业的不断发展与创新,产生了一种新型的金融组织形式-P2P网络借贷,P2P网络借贷是Peer to Peer lending的缩写,是指通过互联网将小额资金聚集起来贷给有资金需求的人,...
- 何苗
- 关键词:商业银行银行经营网络信贷风险分析
- 微光学阵列元件离子束刻蚀制作的分析与讨论被引量:6
- 1998年
- 阐述了利用离子束刻蚀技术制作微光学阵列元件的工艺条件.研究和实验结果表明,通过光刻热熔法制作的光致抗蚀剂掩模图形经具有不同能量的离子束刻蚀后可以有效地实现向衬底材料上所作的选择性转移,所作的理论分析结果为非球面微光学阵列元件的制作提供了一条可行的技术途径.
- 张新宇易新建何苗赵兴荣
- 关键词:离子束刻蚀掩模
- 面向工艺设计的图形图像处理系统研究与实现
- 图形与图像的处理在工艺设计中扮演极其重要的角色,所有的工艺信息都以图形或图像的形式表现出来,但是现行的工艺系统平台仅单方面支持图形或者图像,不能很好的满足用户同时处理图形与图像的需求。本文选择工艺设计环节较重要的汽车行业...
- 何苗
- 关键词:汽车工业
- 文献传递
- 超导薄膜制 Bolometer 器件的微透镜红外增强
- 1998年
- 采用离子束刻蚀制备线列熔凝石英柱微透镜阵列,准分子激光扫描消融法淀积性能均匀且稳定性良好的YBa2Cu3O7-δ高温超导薄膜,湿法刻蚀制备超导薄膜器件,微透镜阵列与超导薄膜器件用胶粘合构成组合红外探测器,测试了组合器件在1~5m红外波段的光响应特性.
- 张新宇易新建何苗赵兴荣
- 关键词:微透镜红外探测器超导薄膜