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周新颖

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：威海职业学院更多>>
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合作作者

题名
作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇烧蚀
  • 1篇激光
  • 1篇激光技术
  • 1篇光技术
  • 1篇光学
  • 1篇飞秒
  • 1篇飞秒激光
  • 1篇超快光学

机构

  • 1篇哈尔滨工业大...
  • 1篇威海职业学院

作者

  • 1篇周新颖
  • 1篇王卫京
  • 1篇刘文军

传媒

  • 1篇科技信息

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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利用飞秒激光烧蚀加工金属掩模板被引量：2
2007年
本论文主要描述了飞秒激光加工的特征和机理,应用高重复频率、低能量的飞秒脉冲来直接烧蚀金属铬膜层。用放大倍数/数值孔径为10×/0.25的显微物镜对中心波长为812nm、脉冲宽度为90fs、重复频率为75MHz的飞秒脉冲进行聚焦后,对玻璃基底厚度为145nm铬膜层进行烧蚀,制成了线宽为5μm、周期为40μm的栅格状掩模板和空间点阵结构掩模板,加工的金属铬掩模板可以作为透射式光学元件使用,测得了掩模板的衍射图样。这一研究对于加工微电子模板和微光学元件有着应用的价值。
王卫京周新颖刘文军
关键词：激光技术超快光学烧蚀
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