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周良兴
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
浙江大学机械工程学系现代制造工程研究所
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发文基金:
浙江省自然科学基金
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
李俊
浙江大学机械工程学系现代制造工...
应济
浙江大学机械工程学系现代制造工...
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周良兴
1篇
应济
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李俊
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年份
1篇
2009
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基于MEMS的静电微泵建模与仿真
被引量:3
2009年
对MEMS中应用广泛的静电微泵进行有限元建模分析.对于涉及多能量域下多场耦合的静电微泵建模,在仿真过程中进行了合理简化.其中在静态分析中,利用圆型薄板的小挠度变形理论和微机电系统中的静电力驱动理论来模拟静电—结构耦合过程;在泵膜的模态分析、谐响应分析以及非线性瞬态分析中,把腔内的流体当作附加质量作用在泵膜上,近似代替流场对泵膜的影响,从而减小计算量,提高了仿真效率.
李俊
应济
周良兴
关键词:
微机电系统
有限元法
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