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唐敏

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇国内会议论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇深层刻蚀
  • 1篇微机械
  • 1篇微机械电子系...
  • 1篇离子刻蚀
  • 1篇刻蚀
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻工艺
  • 1篇光刻胶
  • 1篇反应离子
  • 1篇反应离子刻蚀
  • 1篇高深宽比
  • 1篇PMMA
  • 1篇SU-8
  • 1篇DEM技术

机构

  • 2篇上海交通大学

作者

  • 2篇倪智萍
  • 2篇陈迪
  • 2篇唐敏
  • 2篇李昌敏
  • 2篇毛海平
  • 1篇朱军
  • 1篇李以贵
  • 1篇杨帆
  • 1篇赵小林

传媒

  • 1篇第四届全国微...
  • 1篇第五届全国微...

年份

  • 1篇2001
  • 1篇2000
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
DEM技术中PMMA深层刻蚀工艺研究
DEM技术是由上海交通大学开发出来的一种全新的三维微细加工技术.本文旨在研究DEM技术中利用反应离子刻蚀(RIE)深层刻蚀塑料PMMA的工艺.主要研究了刻蚀功率、工作气压、刻蚀气体流量等对刻蚀速率、侧壁和底部状态等的影响...
杨帆陈迪李以贵唐敏毛海平李昌敏倪智萍
关键词：DEM技术反应离子刻蚀PMMA深层刻蚀微机械电子系统
文献传递
SU-8厚胶光刻工艺研究
本文对一种新的负性近紫外光刻胶SU-8的光刻工艺进行了详细研究.SU-8是一种基于环氧树脂的光刻胶,专为要求超厚和高深宽比的MEMS应用而设计,但它对工艺参数的改变非常敏感,难于控制.本文以30μm厚的SU-8为例,详细...
唐敏陈迪赵小林倪智萍朱军李昌敏毛海平
关键词：SU-8高深宽比光刻工艺光刻胶
文献传递
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