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唐敏锦

作品数：18 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：理学自动化与计算机技术生物学轻工技术与工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 14篇专利
  • 3篇会议论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 2篇理学
  • 1篇生物学
  • 1篇轻工技术与工...

主题

  • 6篇光测力学
  • 6篇光学
  • 5篇纳米
  • 5篇纳米压印
  • 4篇扫描线
  • 4篇光学器件
  • 4篇光栅
  • 4篇非金属材料
  • 3篇压印
  • 3篇显微镜
  • 3篇相移
  • 3篇金属
  • 3篇激光
  • 3篇激光共聚焦
  • 3篇激光共聚焦显...
  • 3篇共聚焦
  • 3篇共聚焦显微镜
  • 2篇形状参数
  • 2篇压电陶瓷驱动
  • 2篇压力控制

机构

  • 18篇清华大学

作者

  • 18篇唐敏锦
  • 18篇谢惠民
  • 6篇张建民
  • 6篇朱建国
  • 4篇王庆华
  • 3篇朱荣华
  • 3篇戴福隆
  • 3篇戴相录
  • 2篇吴立夫
  • 2篇王怀喜
  • 2篇李艳杰
  • 1篇吴丹

传媒

  • 2篇第十三届全国...
  • 1篇力学与实践

年份

  • 2篇2015
  • 4篇2013
  • 4篇2012
  • 1篇2011
  • 3篇2010
  • 4篇2009
共 18 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种高温云纹光栅的制作方法
一种高温云纹光栅的制作方法，属于光学器件制造、光测力学领域。将试件基底材料抛光、清洗、烘干后，在试件基体材料表面沉积一层在高温下抗氧化的金属膜；根据模板上云纹光栅尺寸的特点和光刻胶的型号调整温度、压力、时间等参数，将模板...
朱建国谢惠民唐敏锦
文献传递
一种光栅线宽比测量方法
本发明提出一种光栅线宽比测量方法，包括：提供SEM仪器以及已知线宽比的光栅；将一直线宽比的光栅放置于SEM仪器的载物台中央，调节放大倍数直至形成清晰地云纹条纹，记录形状参数，计算当前放大倍数下扫描线的线宽比，最终标定出一...
谢惠民朱荣华唐敏锦吴立夫
文献传递
一种制作云纹光栅的方法和纳米压印设备
一种制作云纹光栅的方法和纳米压印设备，属于光学器件制造和光测力学技术领域。本发明首先采用电铸工艺制作镍光栅膜，再采用覆膜工艺制作镍基金属光栅模板，避免了硅基等脆性模板易裂的缺点，可以多次重复使用。通过纳米压印的方法和设备...
谢惠民朱建国唐敏锦张建民
文献传递
金属薄膜表面光栅制作的新方法
随着微米、亚微米厚度的金属薄膜在微电子设备、磁记录、光学等领域中的广泛应用，其力学性能的测量就显得尤为重要。云纹方法是一种非接触、全场、高灵敏度的光学测量方法。为了将云纹方法应用于金属薄膜的变形测量，高频率光栅的制作成为...
唐敏锦谢惠民朱建国李晓军
关键词：纳米压印金属薄膜云纹法
激光共聚焦显微镜相移云纹法
激光扫描共聚焦显微镜(LSCM)是当今生物学领域中的一种先进的图像采集和分析仪器,其较高的空间分辨率、简单的操作环境和直观的测量结果为微观观测者所青睐。将云纹方法与激光扫描共聚焦显微镜相结合,由显微镜扫描线和试件栅相叠加...
唐敏锦谢惠民王庆华戴福隆
关键词：激光共聚焦显微镜云纹法相移技术加载装置
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热障涂层失效模式的云纹干涉实验研究
涂层-基体体系是一种常用的抵抗高温燃气的高温热障防护结构,被广泛应用于航空、航天涡轮发动机叶片上的。热障涂层过早出现开裂、脱粘等失效行为直接影响发动机的安全性和可靠性。因此,需要对热障涂层的力学参数和断裂行为做深入研究。...
唐敏锦谢惠民朱建国
关键词：热障涂层云纹干涉法
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封面图片说明
2009年
蝴蝶翅膀以其迷人的彩虹色吸引着各界学者的注意,其颜色由色素色和结构色共同组成,而色彩的变化万千则主要在于结构色,因此对其结构的研究倍受人们关注.蝴蝶翅膀表面覆盖着许多呈屋瓦图案分布的鳞片,鳞片上布满了周期性分布的光子晶体结构．由于传统的高倍显微镜法和散射法只能逐点测量，无法反映较大范围内的结构特征，
谢惠民王庆华唐敏锦
关键词：封面蝴蝶翅膀显微镜法晶体结构结构特征
基于激光共聚焦显微镜的拉压及疲劳加载实验机
基于激光共聚焦显微镜的拉压及疲劳加载实验机，本发明提供一种适用于激光共聚焦显微镜平台的加载实验机，该实验机包括固定基板、电机驱动的拉压加载装置、压电陶瓷驱动的疲劳加载装置、力传感器、夹持装置和相移装置等部分。本发明可以实...
谢惠民王庆华唐敏锦张建民戴福隆
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一种紫外纳米压印系统
本发明提出一种紫外纳米压印系统，本发明涉及特征尺寸为纳米级高分辨率图形的制作装置，属纳米加工技术领域。本发明由压印系统箱体和真空泵组成，其中压印系统箱体包括自动压力控制器、自动真空度控制器、自动曝光时间控制器和真空工作室...
谢惠民唐敏锦戴相录张建民
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一种高温云纹光栅的制作方法
一种高温云纹光栅的制作方法，属于光学器件制造、光测力学领域。将试件基底材料抛光、清洗、烘干后，在试件基体材料表面沉积一层在高温下抗氧化的金属膜；根据模板上云纹光栅尺寸的特点和光刻胶的型号调整温度、压力、时间等参数，将模板...
朱建国谢惠民唐敏锦
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