孙军
- 作品数：20 被引量：56H指数：5
- 供职机构：沈阳建筑工程学院交通与机械工程学院更多>>
- 发文基金：辽宁省教育厅资助项目辽宁省自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信建筑科学金属学及工艺更多>>
- 硅片边界悬伸法研磨和抛光技术的研究被引量：4
- 2000年
- 基于弹性力学的接触理论 ,研究了导向环、工件与抛光垫接触的压力场分布形态 ,提出了通过改变压头变形板的悬伸长度和厚度改变接触区域的压强分布的新技术 ,从而实现了均衡压力场研磨和抛光 ,利用该技术可使半导体晶片在抛光过程中获得均匀一致的材料去除 ,并且在给定的实验条件下使平面度达 0 .2 5～ 0·33μm/76mm ,表面粗糙度Ra值分布不大于 5%。
- 王军孙军吕玉山
- 关键词：抛光平面度硅片研磨
- 晶片行星式研磨抛光机运动模拟的研究被引量：22
- 2000年
- 针对单晶硅片高精度研磨抛光中存在的问题 ,从摩擦学理论出发 ,模拟了磨粒切痕方向、磨粒轨迹形态的变化过程 ,揭示了运动参数对研抛的表面质量、纹理方向、表面完整性的影响规律。
- 王军孙军杨信伟吕玉山
- 关键词：单晶硅片运动模拟
- CAI课件的开发策略与模式被引量：1
- 2003年
- 针对计算机辅助教学CAI课件的开发,探讨了不同教学策略对课件开发的影响,以及课件开发涉及的主要内容,根据计算机的功能和实际教学需求,讨论了CAI课件的开发模式。
- 孙军李媛媛
- 关键词：CAI教学策略
- 花岗石双向切机 PLC 控制的设计研究
- 1998年
- 花岗石双向切机是花岗石薄板加工的重要设备，为提高其自动化程度，现代花岗石双向切机一般都采用ＰＬＣ可编程序控制器控制。本文根据双向切机的实际加工需要，结合ＰＬＣ控制的特点，讨论了花岗石双向切机ＰＬＣ控制系统的基本原理，以提高其整机性能。
- 孙军赵民刘冬莉
- 关键词：花岗石双向切机可编程序控制器
- 高压磨料水加工工程陶瓷被引量：5
- 1999年
- 对高压磨料水切割工程陶瓷机理进行了研究，分析了工程陶瓷破坏机理，通过实验论证了切割参数对切割深度的影响。
- 赵民孙军刘黎
- 关键词：工程陶瓷射流技术
- ST-Developer10的特征库建立方法研究被引量：2
- 2004年
- 介绍了STEP开发工具ST Developer10,并研究了用其中的SDAI接口和ROSE接口建立特征库的方法,研究了EXPRESS到SQLServer2000的映射方法。其目的是建立基于新的NC编程接口标准STEP NC的数据库,为实现STEP NC标准提供条件。
- 王国勋孙军王军
- 关键词：数据库EXPRESS语言映射
- 真空发生器在工业自动化中的应用被引量：9
- 1998年
- 本文对新型真空元件真空发生器的工作原理进行了讨论，介绍了真空发生器元件和系统的选用方法及实际使用中的注意事项，并例举了真空发生器选型实例。
- 孙军
- 关键词：真空发生器真空度自动化
- 单晶硅片的弹性变形法抛光新技术
- 本文基于弹性力学的接触理论,使用大尺寸环板中心负载和平面压头边界悬伸变形方式,提出了单晶硅片抛光的新工艺。研究的结果表明,利用该技术可使半导体晶片在抛光过程中获得均匀一致的材料去除,并且在给定的实验条件下使平面度达0.2...
- 孙军王军杨信伟吕玉山
- 关键词：超精密加工抛光单晶硅片
- 文献传递
- 桥式切机PLC控制的设计研究
- 1997年
- 桥式切机是石材加工的重要设备,为提高其自动化程度,现代桥式切机一般都采用PLC可编程序控制器控制。本文根据桥式切机的实际加工需要,结合PLC控制的特点,探讨了桥式切机PLC主要控制系统的基本原理,以提高其整机性能。
- 孙军赵民
- 关键词：石材加工设备PLC控制系统
- 基于PCI-1710HG的气动在线检测系统被引量：1
- 2004年
- 阐述了气动在线检测系统的原理及实验装置。高度集成的数据采集卡PCI-1710HG与数据采集及处理软件相结合,使得系统对传感器转换的电压信号进行高速且精密的数据采集及处理。电压的变化反映了系统压差Δp的变化,根据Δp与s一一对应的关系,即可实现在线的气动检测。
- 修庆国王军孙军
- 关键词：在线检测数据采集数据处理传感器
