崔崧
- 作品数：7 被引量：8H指数：1
- 供职机构：中国科学院西安光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 光纤Bragg光栅在石油领域中的应用研究
- 光纤光栅是最近几年发展最为迅速、最具有代表性的光纤无源器件之一,由于它具有许多独特优点,因而在光纤通信、光纤传感等领域都具有广阔的应用前景.本文对光纤Bragg光栅的基本理论和在传感方面的应用作了说明,主要对光纤Brag...
- 阮驰崔崧高应俊
- 文献传递
- 一种新型投影光刻系统的光学特性研究
- 与传统的近贴式光刻相比,微透镜阵列投影光刻是一项新兴的光刻技术.针对大面积光刻,特别是对那些面形有微变曲或不平整的器件,采用这种非接触式方法可以获得良好的像质和更大的工作距离.本文介绍了一种由四片微透镜阵列叠合而成的1:...
- 崔崧阮驰高应俊
- 关键词：微透镜阵列光刻MTF微加工
- 文献传递
- 光纤Bragg光栅在石油领域中的应用研究
- 阮驰崔崧高应俊
- 非接触式光刻中的微透镜阵列系统
- 2000年
- 本文介绍一种供非接触式光刻使用的由三片微透镜陈阵叠合成1：1成像多孔径微小光学光刻曝光系统。针对大面积光刻，可以获得良好的分辨率和较大的焦深。本文还介绍了这种微透镜阵列的制作方法。
- 高应俊崔崧等
- 关键词：分辨率焦深
- 微透镜阵列光刻投影系统的研究
- 该文主要对微透镜阵列组合形成光刻投影系统进行了较为全面深入的研究.从理论上和实验上系统地研究了微透镜阵列组的综合成像,建立并初步完善了一套利用微透镜阵列的组合作为光刻物镜头,进行投影光刻的光学系统.介绍了光刻投影系统的组...
- 崔崧
- 关键词：微透镜阵列光刻
- 文献传递
- 一种新型微透镜阵列成象式投影光刻系统的研究被引量：7
- 2002年
- 从理论和实验两方面入手 ,系统地研究了微透镜阵列的形成原理和制作工艺 ,分析了微透镜阵列的面形结构 ,得到了联系微透镜阵列矢高与制作工艺参量的经验公式 .并且将四片微透镜阵列耦合 ,形成一个深紫外光刻的 1 :1成象的多孔径微小光刻系统 .从几何光学理论出发 ,分析了这个光刻系统综合成象的特点 ,讨论了这种光刻系统的光学性能 。
- 崔崧高应俊阮驰郝爱花
- 关键词：微透镜阵列超大规模集成电路
- 一种新型投影光刻系统的光学特性研究
- 与传统的近贴式光刻相比,微透镜阵列投影光刻是一项新兴的光刻技术.针对大面积光刻,特别是对那些面有微变曲或不平整的器件,采用这种非接触式方法可以获得良好的像质和更大的工作距离.本文介绍了一种由四片微透镜阵列叠合而成的1:1...
- 崔崧阮驰高应俊
- 关键词：微透镜阵列微加工工艺
- 文献传递
