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李莹

作品数：3 被引量：13H指数：3
供职机构：上海交通大学材料科学与工程学院更多>>
发文基金：国家重点实验室开放基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 3篇理学

主题

  • 2篇多层膜
  • 2篇微结构
  • 2篇显微结构
  • 2篇纳米
  • 2篇纳米多层膜
  • 2篇SI
  • 1篇碳化硅
  • 1篇微结构研究
  • 1篇显微硬度
  • 1篇纳米材料
  • 1篇界面微结构
  • 1篇溅射
  • 1篇TI
  • 1篇硼
  • 1篇钨
  • 1篇钛
  • 1篇超硬薄膜
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 3篇上海交通大学

作者

  • 3篇李莹
  • 3篇杨晓豫
  • 2篇周平南
  • 1篇蔡珣

传媒

  • 2篇真空科学与技...
  • 1篇上海交通大学...

年份

  • 2篇1998
  • 1篇1997
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
磁控溅射SiC/W纳米多层膜的微结构研究被引量：4
1997年
用磁控溅射法在Si基底上制备了不同调制波长的SiC／W纳米多层膜。利用小角度X射线衍射技术（LXD），详细研究了其中典型的多层膜的调制周期性，各子层的厚度及界面平整度等界面微观结构。结果表明：磁控溅射法制备的纳米多层膜具有较好的周期结构及陡峭的界面梯度，由衍射峰位置计算出的界面不均匀度与子层厚度之比一般在5％以内。另外，对于小角度X射线衍射谱线中的所谓峰分裂现象进行了分析和计算。
杨晓豫蔡珣李莹张流强
关键词：纳米多层膜界面微结构纳米材料
SiC/W 纳米多层膜的微结构和微观力学性能被引量：3
1998年
用磁控溅射法在硅基底上制备了不同调制波长Λ的ＳｉＣ／Ｗ纳米多层膜，利用小角度衍射技术（ＬＸＤ）研究了各样品子层界面的调制周期性，并用上限为２０ｍＮ的超显微硬度计ＵＭＨＴ－３，对上述纳米薄膜进行了多载荷微观力学性能测试．结果表明：纳米ＳｉＣ／Ｗ调制多层膜的超显微硬度随测试负荷Ｆ和调制波长Λ的改变而变化，在负荷为５ｍＮ时峰值硬度为１９．９ＧＰａ，与均匀混合的纳米薄膜相比，超显微硬度值提高了约１倍，显示出明显的硬度异常效应．结合实验结果对硬度值随调制波长Λ出现的峰值效应作了初步探讨．
杨晓豫蔡厄李莹周平南
关键词：纳米多层膜显微结构碳化硅钨
Ti-B超硬薄膜的合成及其显微结构和显微硬度的研究被引量：6
1998年
采用离子束增强沉积方法，在p型（100）单晶硅衬底上，通过不同能量的氙离子辅助轰击，以不同的沉积速率制备了Ti－B超硬薄膜。X射线衍射分析结果表明，Ti-B薄膜呈TiBx多晶结构，其晶化程度随蒸发速率的不同而变化，而其缺位值x随氙离子轰击能量的不同而变化。超显微硬度的测试结果表明，氙离子束能量为60keV，沉积速率为0．6nm／s时，可以获得性能最佳的Ti-B超硬薄膜，其本征硬度在测试负荷为5mN时达28．6GPa，超过了TiB体材料的硬度水平，是衬底硅片的3．2倍。利用SEM观察了Ti-B薄膜的横断面，并讨论了工艺参数对Ti－B超硬薄膜韧性的影响。
杨晓豫蔡珣李莹周平南
关键词：显微结构
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