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李金星
作品数:
2
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供职机构:
复旦大学
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
刘照乾
复旦大学
刘冉
复旦大学
梅永丰
复旦大学
黄高山
复旦大学
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机构
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复旦大学
作者
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黄高山
2篇
李金星
2篇
梅永丰
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刘冉
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刘照乾
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1篇
2014
1篇
2012
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一种管状多孔微米马达及其制备方法和应用
本发明属于微纳器件技术领域,具体为一种管状多孔微米马达及其制备方法和应用。本发明多孔微米马达的制备步骤为:阳极氧化制备表面具有纳米孔阵列的氧化铝膜;在阳极氧化铝膜上沉积具有预应力梯度多层薄膜;对多层薄膜进行图形化处理;选...
李金星
刘照乾
黄高山
梅永丰
刘冉
一种管状多孔微米马达及其制备方法和应用
本发明属于微纳器件技术领域,具体为一种管状多孔微米马达及其制备方法和应用。本发明多孔微米马达的制备步骤为:阳极氧化制备表面具有纳米孔阵列的氧化铝膜;在阳极氧化铝膜上沉积具有预应力梯度多层薄膜;对多层薄膜进行图形化处理;选...
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