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沈飞荣

作品数：5 被引量：4H指数：1
供职机构：南京航空航天大学机电学院更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：化学工程金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇化学工程
  • 2篇金属学及工艺

主题

  • 5篇金刚石
  • 5篇刚石
  • 3篇热沉
  • 3篇CVD金刚石
  • 2篇致密
  • 2篇致密性
  • 2篇涂层
  • 2篇热源温度
  • 2篇先驱体
  • 2篇先驱体法
  • 2篇金刚石涂层
  • 2篇沉积层
  • 1篇导热
  • 1篇导热性能
  • 1篇热性能
  • 1篇温度场
  • 1篇流场

机构

  • 5篇南京航空航天...

作者

  • 5篇沈飞荣
  • 4篇左敦稳
  • 4篇卢文壮
  • 3篇朱良杰
  • 2篇孙玉利
  • 2篇朱伟军
  • 2篇徐锋
  • 2篇刘扬
  • 1篇孙达飞
  • 1篇王浩
  • 1篇薛海鹏

传媒

  • 1篇人工晶体学报
  • 1篇机械制造与自...

年份

  • 3篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
小型精密CVD金刚石热沉片的制备研究
2012年
CVD金刚石具有优异的导热性能,在微电子热沉应用方面有着广阔的应用前景。利用ICP工艺制造了硅模具,利用有限元对CVD系统中硅模具的温度场和流场进行了研究,在硅模具内制备了小型精密CVD金刚石热沉片。试验结果表明模具法能够获得表面品质好、形状和尺寸精度很高的小型金刚石热沉片。
沈飞荣卢文壮朱良杰左敦稳严欣
关键词：CVD金刚石热沉
模具法制备CVD金刚石热沉片的温度场与流场研究被引量：4
2012年
本文通过有限元仿真研究了模具法制备CVD金刚石热沉片的温度场和流场,并对制备参数进行了优化。实验与仿真的结果均表明,进气量的大小对衬底附近流场的均匀性影响显著,热丝温度、热丝间距以及热丝到衬底的距离对衬底的平均温度影响显著,热丝间距和热丝温度对衬底温度的均匀性影响显著;模具法制备的CVD金刚石复制了模具型腔,保证了热沉片的结构完整性和尺寸精度,最终制备了精度较高的小型CVD金刚石热沉片。
薛海鹏卢文壮沈飞荣孙达飞王浩左敦稳
关键词：CVD金刚石热沉温度场流场
小型CVD金刚石热沉片的制备研究
CVD金刚石是一种具有诸多卓越性能的工程材料，在微电子器件的热沉应用领域有着广阔的发展前景。由于CVD金刚石硬度极大，脆性高，金刚石膜的加工存在着应力集中容易碎裂的问题，小型精密的金刚石热沉片极其难以加工。针对这一难题，...
沈飞荣
关键词：CVD金刚石导热性能
文献传递
SiC先驱体法制备金刚石涂层的方法
一种SiC先驱体法制备金刚石涂层的方法，其特征是它包括以下步骤：①基材处理、②制备SiC涂层、③SiC涂层处理、④金刚石涂层制备和⑤金刚石涂层后处理，其中后处理必须在真空环境下采用CH<Sub>4</Sub>和H<Sub...
卢文壮左敦稳朱良杰徐锋孙玉利刘扬朱伟军沈飞荣
SiC先驱体法制备金刚石涂层的方法
一种SiC先驱体法制备金刚石涂层的方法，其特征是它包括以下步骤：①基材处理、②制备SiC涂层、③SiC涂层处理、④金刚石涂层制备和⑤金刚石涂层后处理，其中后处理必须在真空环境下采用CH<Sub>4</Sub>和H<Sub...
卢文壮左敦稳朱良杰徐锋孙玉利刘扬朱伟军沈飞荣
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