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王晓维
作品数:
3
被引量:6
H指数:2
供职机构:
燕山大学
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相关领域:
自动化与计算机技术
金属学及工艺
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合作作者
史锦珊
燕山大学
郑德忠
燕山大学
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机构
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燕山大学
作者
3篇
王晓维
1篇
郑德忠
1篇
史锦珊
传媒
1篇
传感技术学报
年份
1篇
2006
2篇
1998
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3
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立式两旋轮车轮辋旋压机数控系统研究
数控机床是以数控系统为基础的机电一体化产品。其技术范围覆盖很多领域,如机械制造技术、信息处理加工传输技术、自动控制技术、伺服驱动技术、传感器技术和软件技术等。计算机对传统机械制造产业的渗透,完全改变了制造业。先进的制造业...
王晓维
关键词:
数控系统
车轮轮辋
旋压机床
文献传递
真空镀膜工艺参数的测量与控制技术研究
薄膜技术和薄膜材料是当代真空技术和材料科学最活跃的领域,在新技术革命中扮演着重角色.该论文提出了用石英晶体振荡法测量ITO薄膜厚度和沉积速率的可行性,并采用差频法消除温度引起的石英晶体谐振频率的漂移.完成了检测电路、单片...
王晓维
关键词:
真空镀膜
沉积速率
神经网络
神经模糊控制
石英晶体薄膜厚度差动测量技术的研究
被引量:2
1998年
本文介绍一种石英晶体膜测厚的差动工作方式。它的厚度测量精度为1nm,分辨率为纳米级,其温度稳定性在0-+400℃范围内达到50Hz。这种差动测量技术不仅可在真空镀膜工艺中实现在线测量,而且在纳米技术及超精细加工中具有广阔应用前景。
郑德忠
王晓维
史锦珊
翟姝红
关键词:
石英晶体
厚度测量
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