邓亚飞
- 作品数：5 被引量：5H指数：1
- 供职机构：广东工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程一般工业技术更多>>
- 一种新型投影曝光调焦方法被引量：1
- 2013年
- 为研究大面积激光投影光刻的调焦,利用Zemax光学设计软件模拟离焦对光程差(OPD)和调制传递函数(MTF)的影响,分析二者对投影曝光图形质量的影响,给出系统最大的离焦量值。提出一种利用显微镜的调焦方法,分析此方法的调焦误差主要来自于显微镜景深,根据景深表达式和系统最大离焦量值,选择一款景深不大于系统最大离焦量的显微镜来构建调焦系统,并基于该调焦系统进行光刻实验。实验结果表明:利用该方法对投影成像光刻进行调焦,无论是否离焦,边缘视场与中心视场的MTF均有差异,分辨率也有差异,但这种差异不影响光刻图形的质量。
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- 关键词：投影光刻调制传递函数调焦
- 新型大面积PCB光刻投影物镜设计被引量：3
- 2013年
- 针对大面积且高密度PCB光刻,利用ZEMAX光学设计软件,设计了一种8片式光刻投影物镜。该物镜采用对称双高斯结构,放大倍率为-1,数值孔径NA=0.06,单次曝光面积Φ=80mm,具有优于7μm的分辨力和120μm的焦深。通过对该镜头进行公差分析,表明最紧公差为部分元件倾斜要小于0.017°。用MonteCarlo方法模拟了制造50组镜头的成像质量,得到在空间频率72line/mm处,90%的镜头的MTF>0.58,因此加工装配时能保证90%以上的成品率。
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- 关键词：光刻投影物镜
- 大面积高精度PCB光刻技术的研究
- 近年来，随着智能手机、平板电脑等高端电子产品的出现，要求印制电路板(PCB)的走线越来越窄，目前部分PCB产品的线宽已经小于10μm，今后10内10μm左右线宽的PCB将越来越流行，这类高密度PCB有着很好的市场前景。传...
- 邓亚飞
- 关键词：软件模拟
- 文献传递
- 调制因子对拉曼-纳斯声光衍射的影响被引量：1
- 2013年
- 通过建立拉曼-纳斯衍射模型,运用数值模拟法,获得了拉曼-纳斯声光衍射的各级光强分布规律。表明调制因子对拉曼-纳斯衍射现象的产生有重大作用,且随着调制因子的增加,各衍射级的光强相对系数变化明显,且各级衍射光强变得匀滑。同时进行了相应的实验测试,实验结果与理论分析一致。
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- 关键词：衍射光强声光器件
- 压铸浸渗制备铝-石墨自润滑复合材料的性能研究
- 铝合金由于具有较高的比强度、低密度及良好的延展性等诸多优异性能而被广泛的应用于诸多领域，然而铝合金的低耐磨性限制了其在高温、高速或者润滑条件不足等环境中的应用。而目前常用的减磨方式，润滑油在这些工况下也无法有效降低摩擦。...
- 邓亚飞
- 关键词：自润滑复合材料摩擦学特性
