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马晓亮

作品数：188 被引量：85H指数：4
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国博士后科学基金更多>>
相关领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 173篇专利
  • 11篇期刊文章
  • 3篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 49篇电子电信
  • 18篇机械工程
  • 18篇理学
  • 14篇自动化与计算...
  • 8篇一般工业技术
  • 6篇文化科学
  • 3篇电气工程
  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 42篇波长
  • 35篇亚波长
  • 30篇光刻
  • 26篇亚波长结构
  • 22篇掩模
  • 21篇宽带
  • 18篇波段
  • 17篇偏振
  • 17篇几何相
  • 17篇几何相位
  • 16篇视场
  • 16篇极化
  • 16篇超分辨
  • 14篇激光
  • 13篇光栅
  • 12篇电磁
  • 12篇透镜
  • 12篇成像
  • 11篇等离子体
  • 11篇天线

机构

  • 188篇中国科学院
  • 8篇中国科学院大...
  • 4篇中国人民解放...
  • 1篇电子科技大学

作者

  • 188篇罗先刚
  • 188篇马晓亮
  • 169篇蒲明博
  • 132篇李雄
  • 67篇赵泽宇
  • 48篇高平
  • 35篇王彦钦
  • 25篇郭迎辉
  • 23篇王长涛
  • 22篇黄成
  • 11篇王炯
  • 7篇崔建华
  • 7篇胡承刚
  • 5篇蒲明薄
  • 5篇潘文波
  • 4篇罗云飞
  • 4篇赵波
  • 3篇姚纳
  • 2篇冯沁
  • 2篇刘玲

传媒

  • 6篇光电工程
  • 2篇光学学报
  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇物理学报
  • 1篇中国光学

年份

  • 4篇2024
  • 20篇2023
  • 15篇2022
  • 31篇2021
  • 41篇2020
  • 17篇2019
  • 26篇2018
  • 11篇2017
  • 8篇2016
  • 4篇2015
  • 6篇2014
  • 3篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2011
共 188 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于暗场莫尔条纹的对准检测与控制的超分辨光刻装置
本发明公开了一种基于暗场莫尔条纹对准检测与控制的超分辨光刻装置，该装置包括精密的环控系统、主动隔振平台、支撑框架、光源、对准检测系统、掩模形变校正系统、光刻镜头模块、承片台及控制系统。该装置通过暗场莫尔条纹衍射成像技术，...
罗先刚刘明刚蒲明博马晓亮高平李雄
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一种超构表面成像系统、设计方法和探测器
本发明公开了一种超构表面成像系统、设计方法和探测器，其中，成像系统包括两个功能部分，基于二次相位的超构表面结构和波矢调控结构；超构表面结构可实现±89°视场成像，波矢调控结构，针对设计波长，存在临界角θt，当波矢调控结构...
罗先刚张飞蒲明博谢婷马晓亮
一种基于介质柱结构的多波长消色差超表面偏振测量器件
本发明提供一种基于介质结构的多波长消色差超表面偏振测量器件，包括至下而上的一层介质衬底和介质柱结构，其中上层介质柱结构由变宽度和变旋转角度的纳米柱结构构成。本发明设计巧妙，结构简单，通过变宽度介质柱结构，可实现对电磁波高...
罗先刚马晓亮蒲明博李雄申宜佳
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一种基于金属网栅的透明电磁屏蔽材料的制备方法
本发明公开一种基于金属网栅的透明电磁屏蔽材料的制备方法，包括步骤S1：在透明衬底上镀制金属薄膜；步骤S2：在金属薄膜上旋涂光刻胶；步骤S3：通过光刻技术获得网栅形状的光刻胶；步骤S4：利用离子束刻蚀(IBE)的阴影效应，...
罗先刚马晓亮蒲明博梁卓承赵泽宇
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一种透射/反射可切换且幅度可调的超构材料
本发明公开了一种透射/反射可切换且幅度可调的超构材料，该超构材料为层状结构，从下到上依次为：有源频率选择表面、微波介质层和石墨烯电容层。其中，有源频率选择表面由介质基板和印刷在介质基板两侧的周期金属微结构图案组成，金属微...
罗先刚黄成赵波马晓亮
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一种基于石墨烯和光栅结合的宽带动态可调RCS缩减结构
本发明提供一种基于石墨烯和光栅结合的宽带动态可调RCS缩减结构，宽带动态可调RCS缩减结构由自下到上依次排列的底部金属层、介质层、石墨烯电控层、高折射率光栅层组成。其中石墨烯电控层由高方阻薄膜层，浸润离子液的绝缘介质层和...
罗先刚宋甲坤黄成马晓亮蒲明博
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一种表面等离子体光刻中小分子光刻胶的干法显影方法
本发明提供一种表面等离子体光刻中小分子光刻胶的干法显影方法。样品特征结构包括激发层、光刻胶层、增强层。干法显影过程：样品首先在表面等离子体光刻机上曝光，获得超分辨率光刻图形记录在光刻胶层；基于感光与非感光区域光刻胶成分不...
罗先刚马晓亮蒲明博刘利芹王长涛
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一种适用于柔性衬底的纳米孔阵列承片台
本发明公开了一种适用于柔性衬底的纳米孔阵列承片台，该承片台核心部件为阳极氧化铝孔基板，表面均布纳米级气孔，与气流盘连通，气流盘接通气源后，整个阳极氧化铝孔基板均匀气流，在曝光与掩模板贴合的过程中，增大气源气压，使得基片脱...
罗先刚蒲明博高平马晓亮薛磊
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一种可拉伸变形的超表面彩色显示器件
本发明提供了一种可拉伸变形的超表面彩色显示器件，该器件自下而上依次包括：柔性可拉伸变形的基底、超表面结构。所述超表面结构是由周期排列的一维或二维纳米结构阵列组成。本发明利用柔性基底的可拉伸特性，在可控拉力下，通过拉伸基底...
罗先刚马晓亮蒲明博王彦钦高平李雄郭迎辉赵泽宇
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一种可见光透明的辐射致冷多层膜
本发明提出了一种可见光透明的辐射致冷多层膜，包括交替排布的厚度不同的N层多层膜；该可见光透明的辐射致冷多层膜采用了一种新的膜层排布方式，使得该多层膜在实现辐射致冷的同时具有极高的可见光透过率。其中，所述多层膜由氧化铟锡(...
罗先刚马晓亮蒲明博李雄郭迎辉
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