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卢学农
作品数:
2
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供职机构:
清华大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王茂鑫
浙江大学
袁加勇
浙江大学
王静环
浙江大学
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卢学农
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袁加勇
1篇
王茂鑫
传媒
1篇
微细加工技术
年份
1篇
1994
1篇
1989
共
2
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光计算中高效等光强分束器的研制及双稳态干涉滤光片的特性研究
卢学农
微机精密控制二维激光扫描装置的设计与实验
1989年
本文叙述了一种可使激光束在二维空间进行μm量级扫描的装置。重点讨论了该装置中的微机控制步进电机细分的新设计思想和具体实施方案,并给出了在基片上激光束镀铜线的实验结果。
王茂鑫
王静环
袁加勇
卢学农
关键词:
微机
激光束
步进电机
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