张福安
- 作品数：31 被引量：14H指数：2
- 供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 缩小投影电子束曝光机中的标记信号检测与对准
- 介绍缩小投影电子束曝光系统中的标记信号检测及对准的方法与步骤.掩模版上的标记经电子束照射后成像于硅片上,使此标记像扫描硅片上的相应标记,检测由此产生的背散射电子信号确定对准位置.
- 靳鹏云张福安
- 关键词：掩模板
- 文献传递
- 电子束缩小投影成像曝光系统研究
- 顾文琪张福安方光荣薛虹靳鹏云彭开武张今朝唐晖初明璋吴桂君王理明
- 该项目通过对电子束缩小投影成像曝光系统的关键技术及相关部件的研究，探索纳米级缩小投影成像曝光、散射型掩模制备及角度限制机理和高精度对准定位等核心技术。项目组制定了详细又切合实际的总体方案和合理可行的技术路线。为加快研究进...
- 关键词：
- 直接产生梯形的图形发生器被引量：1
- 1999年
- 以往研制的电子束曝光机图形发生器只能生成矩形和斜率有限的平行四边形，这造成了曝光精度和速度之间的矛盾。针对以上问题，本文介绍了一台可直接产生梯形的图形发生器，并对该机的测试结果进行了分析。
- 刘浩顾文琪张福安
- 关键词：图形发生器集成电路
- 电子束缩小投影曝光机对准模拟软件设计
- 2002年
- 文章介绍了对准技术,设计出用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件,阐述其数学模型和算法设计,并模拟出标记对准的背散射信号。
- 史强靳鹏云张福安
- 关键词：软件设计
- DY－5型亚微米电子束曝光机电子光学柱的一些问题被引量：1
- 1995年
- 本文概要地比较了扫描电镜和电子束曝光机二者电子光学柱的异同。介绍了把一台ＡＭＲＡＹ系列电镜的电子光柱改造成ＤＹ－５型电子束曝光机电子光学柱所做的工作。最后给出了一组试验结果。
- 武丰煜唐文剑张福安安秉谦
- 关键词：电子束曝光
- ＤＹ－７型深亚微米电子束曝光系统的研究
- 主要介绍深亚微米电子束曝光机的实验研究及各种部件性能指标，并重点论述偏转器的优化设计。
- 王理明张福安薛虹顾文琪
- 关键词：电子束曝光机偏转器
- 文献传递网络资源链接
- 电子束投影曝光装置实验结果分析
- 2002年
- 主要介绍了电子束缩小投影曝光机的工作原理及其特点 ,针对在原理论证机上做的实验 。
- 初明璋顾文琪张福安彭开武时东霞
- 关键词：光刻
- 电子束缩小投影曝光机对准模拟软件应用被引量：1
- 2002年
- 介绍了用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件及标记图形 ,模拟出标记对准的背散射信号 ,并与实际实验信号图形进行了对比。
- 史强靳鹏云张福安
- 基于SEM纳米级电子束曝光机的快速束闸设计被引量：2
- 2008年
- 基于扫描电镜(SEM)的纳米级电子束曝光系统能够以较低成本满足科研单位对纳米加工设备的需求。在电子束曝光系统中,需要快速束闸控制电子束通断以实现纳米图像的多场曝光。从安装位置、机械结构和驱动器等方面讨论快速束闸的设计。
- 刘俊标方光荣靳鹏云薛虹张福安顾文琪
- 关键词：电子束曝光扫描电子显微镜图形发生器
- 用于缩小投影曝光的反对称双磁透镜设计
- 电子束缩小投影曝光技术是制造下一代集成电路（0.1μm以下线宽）最有希望的途径之一。目前美、日等发达国家正在加紧开发这一技术,使之尽快成为21世纪微细电路的主要生产装备。作为缩小投影曝光装置核心部件的电子光学镜筒包括发射...
- 康念坎王理明顾文琪张福安
- 关键词：缩小投影电子束曝光
