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内核尺寸对核/壳结构PS/SiO_2复合磨料抛光特性的影响被引量：2: 2014年; 核/壳结构有机/无机复合微球作为一种新型抛光介质,在实现高效无损伤抛光方面具有重要的应用价值.以无皂乳液聚合法制备的聚苯乙烯（PS）为内核,通过溶胶-凝胶法合成了一系列具有不同内核尺寸的 PS/SiO 2复合微球.利用 FT-IR、FESEM 和TEM 等手段对样品进行表征,并借助 AFM 考察了复合磨料内核尺寸对 SiO 2介质层抛光质量的影响规律.结果表明,所制备单分散 PS 微球尺寸在200～600 nm,复合微球的壳层由 SiO 2纳米颗粒（5～10 nm）所组成,壳厚在10～15 nm.材料去除率（MRR）随复合磨料内核尺寸的减小而降低,而抛光后晶片表面粗糙度（RMS）的变化则不明显.当复合磨料内核尺寸为210 nm 时,抛光后 RMS 和 MRR 分别为0．217 nm 和126．2 nm/min.提出将核壳结构有机/无机复合磨料理解成一种表面布满无机纳米颗粒的微型“抛光垫”,尝试用有效磨料数量以及壳层中单个 SiO 2颗粒的压入深度对 CMP 实验结果进行解释,并进一步讨论了有机内核在抛光过程中的作用.; 陈杨李志娜宋志棠闵国全; 关键词：聚苯乙烯氧化硅化学机械抛光

CeO2/AgBr复合微球可见光催化剂的制备方法: 本发明涉及一种在温和条件下两步合成CeO2/AgBr复合微球可见光催化剂的方法，特征是以醇为反应溶剂，以乙酸铈（Ce(O2H3C)3...; 胡宗林赵晓兵李霞章陆晓旺刘英杰钱程李志娜刘高鹏汪亚运李丽丽; 文献传递

壳层形态对核/壳结构PS/SiO_2复合磨料抛光性能的影响: 2014年; 以聚苯乙烯(PS)微球为内核,通过控制正硅酸乙酯的水解过程制备具有不同壳层形态的核/壳结构PS/SiO2复合磨料,应用于二氧化硅介质层的化学机械抛光,借助AFM测量抛光表面的形貌、轮廓曲线及粗糙度.SEM和TEM结果显示:碱性水解条件下,复合磨料的壳层由SiO2纳米颗粒组成(非连续壳层);酸性条件下,复合磨料的壳层则呈无定型网状(连续壳层).抛光对比试验结果表明:复合磨料的PS弹性内核有利于降低表面粗糙度并减少机械损伤,SiO2壳层则有利于提高材料去除率,复合磨料的核/壳协同效应对于提高抛光质量具有主要影响.相对于非连续壳层复合磨料,具有连续壳层的PS/SiO2复合磨料能够得到更低的抛光表面粗糙度值(RMS=0.136 nm),且在抛光过程中表现出了更好的结构稳定性.然而,PS/SiO2复合磨料的壳层形态对抛光速率的影响则不明显.; 赵晓兵李志娜钱程陈杨; 关键词：核壳结构化学机械抛光

反蛋白石结构大孔碳材料的制备及其在染料敏化太阳能电池对电极中的应用被引量：3: 2014年; 以胶体晶体为牺牲模板合成反蛋白石结构碳(Inverted opal carbon,IO-C)材料,借助扫描电镜和透射电镜分析IO-C材料样品的形貌和微观结构,考察对电极中IO-C负载量对染料敏化太阳能电池(Dye-sensitized solar cells,DSSC)光电转化性能的影响。结果表明:IO-C对电极DSSC的光电性能随着碳负载量的增加而提高,这可能与电荷转移电阻的降低有关。在本研究条件下,当碳负载量超过332μg/cm2时,进一步增大负载量对电池性能的提高并无明显帮助。相对于商用铂对电极电池(η=5.61%),IO-C对电极电池可以获得相近的光电转化效率(η=5.27%)。; 陈爱莲钱程李志娜; 关键词：染料敏化太阳能电池对电极

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李志娜