李明
- 作品数：9 被引量：46H指数：5
- 供职机构：南京师范大学物理科学与技术学院江苏省光电技术重点实验室更多>>
- 发文基金：江苏省高技术研究计划项目江苏省高校高新技术产业发展项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 光纤微机电压力传感器的设计被引量：3
- 2004年
- 设计了一种基于微机电系统 (MEMS)的光纤压力传感器 ,证明了光纤MEMS压力传感器在工作状态下可以由法布里珀罗腔的理论模型进行解释 .推导出光纤MEMS压力传感器中硅横膈膜受到的压力与干涉光强的关系表达式 .并且对光纤MEMS压力传感器的模型进行数值模拟 ,得到了传感器制作过程中涉及到的各个物理量的取值 ,其中腔体半径为 3 0 0 μm、腔体深度为 2 .42 μm、硅横膈膜厚度为 2 3 μm .该设计为光纤MEMS压力传感器的加工和制作提供了理论基础 .
- 李明王鸣王婷婷聂守平
- 关键词：集成光路数值模拟
- 光纤法布里-珀罗腔传感器双波长解调法及波长优化设计被引量：15
- 2005年
- 提出了光纤法布里珀罗(F-P)腔传感器的双通道双波长解调方法,并在此基础上建立了传感器的实验解调系统。理论分析与实验研究了双波长法解调光纤法布里珀罗腔传感器的基本原理,证明了双波长双通道解调法可以补偿传感器光网中和波长无关的变动引起的误差。根据已知的法布里珀罗腔传感器初始腔长和腔两端面反射率,从腔长变化的动态范围、线性、灵敏度等方面考虑,对工作波长以及线宽进行了优化设计。对双波长双通道解调系统进行了实验和数据分析,经最小二乘法拟合后的线性拟合度达到98.35%。实验结果表明:该方法可满足解调光纤法布里珀罗腔传感器在灵敏度、响应速度以及稳定度上的要求。
- 王婷婷王鸣李明陆敏
- 关键词：导波与光纤光学光纤传感器法布里-珀罗腔
- 光纤MEMS压力传感器的理论分析和数值模拟
- 设计了一种基于微机电系统（MEMS）的光纤压力传感器,证明了光纤MEMS压力传感器在工作状态下可以由法布里-珀罗腔的理论模型进行解释。推导出光纤MEMS压力传感器中硅横膈膜受到的压力与干涉光强的关系表达式,并且对光纤ME...
- 李明王鸣王婷婷聂守平
- 关键词：光电技术微光机电系统数值模拟
- 文献传递
- 基于强度解调的Fabry-Perot型光纤MEMS压力传感器
- 本文运用微机械系统加工技术制作了一种新型法布里-珀罗干涉型光纤微机电系统压力传感器,该传感器通过测量反射光谱的移动测量压力.运用多腔干涉原理对该传感器进行理论以及模拟分析得出,通过改变压力传感器的尺寸可较容易的调节压力线...
- 葛益娴王鸣陈绪兴李明
- 关键词：集成光学压力传感器微机电系统光谱移动
- 文献传递
- 自混合干涉微位移传感器被引量：19
- 2004年
- 有许多测量微位移的光干涉方法 ,然而难以实现结构紧凑、价格低的测量系统 ,因为这些传统干涉方法都需要许多光学元器件。提出用激光自混合干涉术测量微位移 ,分析和讨论了自混合干涉信号的产生和处理方法 ,用快速傅立叶变换(FFT)相位探测技术分析自混合干涉信号 ,可提高相位测量精度。提出的传感器可以用于亚微米级位移的测量和控制 ,并给出了
- 王鸣聂守平李明李达成
- 关键词：自混合干涉光学元器件微位移快速傅立叶变换相位测量传感器
- 半导体激光器自混合干涉的调制与放大电路被引量：5
- 2004年
- 介绍了一种实用的半导体激光器自混合干涉的调制与放大电路 ,给出了电路原理图及其设计原理 。
- 王婷婷李明王鸣郝辉
- 关键词：半导体激光器自混合干涉
- 硅基光纤温度传感器研究被引量：1
- 2007年
- 基于单晶硅折射率随温度变化的热光效应,研究了一种硅基双波长光纤温度传感器.理论分析了单晶硅膜温度传感的机理,通过计算得到了硅膜厚度与温度测量范围之间的关系.运用双波长信号处理方法对传感器反射光强度进行分析并解调出所测量的温度.实验结果表明,在测温范围25～45℃内,当传感器测温波长为1534.3nm、1554.3nm时,该传感器对温度的响应具有良好的线性,其线性拟合度达0.9898.该温度传感器的研究对设计制作温度补偿型的硅基压力或其它物理量的测量传感器具有一定的参考价值.
- 葛益娴王鸣李明王婷婷
- 关键词：传感器技术温度传感器热光效应
- 基于强度解调的Fabry-Perot型光纤MEMS压力传感器被引量：5
- 2006年
- 运用微机械系统加工技术制作了一种新型法布里-珀罗干涉型光纤微机电系统压力传感器，该传感器通过测量反射光谱的移动测量压力．运用多腔干涉原理对该传感器进行理论以及模拟分析得出，通过改变压力传感器的尺寸可较容易的调节压力线性测量范围和灵敏度．实验结果表明，在压力线性测量范围[0．1～1．0]MPa内，灵敏度可达到12．71nm／MPa（光谱移动／压力）．
- 葛益娴王鸣陈绪兴李明
- 关键词：集成光学压力传感器微机电系统光谱移动
- 光纤微机电系统压力传感器的理论分析和数值模拟被引量：5
- 2005年
- 设计了一种基于微机电系统(MEMS)的光纤压力传感器,证明了光纤MEMS压力传感器在工作状态下可以由法布里_珀罗腔的理论模型解释。推导出了在光纤MEMS压力传感器中硅横膈膜的压力与干涉光强的关系表达式,并对光纤MEMS压力传感器的模型进行了数值模拟,初步确定了在传感器的制作过程中各个物理量的取值。其中腔体半径为300μm、腔体深度为1.42μm、硅横膈膜厚度为23μm,为光纤MEMS压力传感器的加工和制作提供了理论基础。
- 李明王鸣王婷婷聂守平
- 关键词：光电技术微光机电系统数值模拟
