王波
- 作品数:287 被引量:240H指数:8
- 供职机构:哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金黑龙江省自然科学基金武器装备预研基金更多>>
- 相关领域:金属学及工艺机械工程自动化与计算机技术理学更多>>
- 水电极大气等离子体加工回转零件方法
- 水电极大气等离子体加工回转零件方法,它属于等离子体加工碳化硅或融石英等硅基材料回转类零件的技术领域。它是为了解决放电不均匀、工件热变形等问题。它的步骤一:旋转成形电极的上端面连接转轴上;旋转成形电极为圆形外凸形;步骤二:...
- 王波李铎姚英学金会良李娜辛强金江
- 文献传递
- 一种晶圆平面度检测机
- 一种晶圆平面度检测机,属于超精密加工装备领域。四个隔振器对称设置并固定于检测机支架上,底座固定于四个隔振器上,气浮转台固定于底座上,三点支撑组件固定在气浮转台上,测量盘设置在三点支撑组件上,两个定心气缸组件分别固定在底座...
- 王波乔政谷东运吴言功丁飞
- 微细铣削硬铝时切削用量对表面粗糙度的影响被引量:6
- 2007年
- 利用自研的三轴微小型立式数控铣床和微径立铣刀(直径小于1mm),通过双因素及中心复合实验设计的方法,分析微细铣削硬铝LY12过程中的铣削参数(包括每齿进给量、轴向切深、主轴转速、刀具直径以及刀具悬伸量)对工件表面粗糙度的影响,重点探讨了每齿进给量和轴向切深对表面粗糙度的交互影响,并建立了数学模型,为微细铣削工艺参数的选择和表面质量的控制提供了基本依据。
- 朱黛茹王波赵岩梁迎春
- 关键词:微细铣削表面粗糙度
- 一种航空薄壁微构零件切出底边毛刺特征的提取及表征方法
- 本发明公开了一种航空薄壁微构零件切出底边毛刺特征的提取及表征方法,包括:选择Canny算法作为提取切出底边毛刺特征的基本算法;使用图像采集装置,对微铣削加工产生的切出底边毛刺的特征图像进行采集;在计算机中载入切出底边毛刺...
- 渠达王波曹华军薛家岱伊浩周兰兰
- 文献传递
- 一种头架和尾架双电机驱动的超精密辊筒机床
- 一种头架和尾架双电机驱动的超精密辊筒机床,属于超精密加工装备领域。主轴头架固定在辊筒机床床体上,主轴尾架与辊筒机床床体的Z轴导轨滑动连接,两套气体静压主轴系统分别固定装在主轴头架和主轴尾架上,主轴电机输出轴与气体静压主轴...
- 王波吴言功李子腾乔政丁飞
- 一种基于PLC液压站的压力/流量的闭环控制方法
- 一种基于PLC液压站的压力/流量的闭环控制方法,它涉及的是精密加工机床的液压支承元件的供油技术领域。克服现有液压站存在测量的分辨率不足,及工作时所带来的振动、噪声和压力波动较大等因素,而对机床加工精度造成影响很大的问题。...
- 王波赖志锋毕翔乔政
- 文献传递
- 大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的装置
- 大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的装置,它属于等离子体加工碳化硅密封环类零件的技术领域。它是为了解决碳化硅密封环类零件的难加工问题。它的圆盘形电极架的上端面上设置有多个薄片形电极模块的安装孔,当薄片形电极模块安装在圆盘...
- 王波金江姚英学金会良乔政李娜辛强李铎
- 文献传递
- 一种直线电机驱动的快慢刀伺服及其加工方法
- 一种直线电机驱动的快慢刀伺服及其加工方法,属于超精密装备技术领域。直线电机能够为Z轴溜板提供较大的推力,Z轴溜板的中间部分为空心结构,加工方法为:将机床主轴的位置信息,传递给机床的数控系统;机床的数控系统得出相应的对Z轴...
- 王波吴言功张志超乔政丁飞
- 大气等离子体抛光技术在超光滑硅表面加工中的应用被引量:29
- 2007年
- 发展了大气等离子体抛光方法,并用于超光滑表面加工。该技术基于低温等离子体化学反应来实现原子级的材料去除,避免了表层和亚表层损伤。运用原子发射光谱法证明了活性反应原子的有效激发,进而揭示了特定激发态原子对应的电子跃迁轨道。在针对单晶硅片的加工实验中,应用有限元分析法在理论上对加工过程中的空间气体流场分布和样品表面温度分布进行了定性分析。后续的温度检测实验证实了样品表面温度梯度的形成,并表明样品表面最高温度仅为90℃。材料去除轮廓检测结果符合空间流场的理论分布模型,加工速率约为32 mm3/min。利用原子力显微镜对表面粗糙度进行测量,证实了加工后样品表面在一定范围内表面粗糙度Ra=0.6 nm。最后,利用X射线光电子谱法研究了该方法对加工后表面材料化学成分的影响。实验和检测结果均表明,该抛光方法可以进行常压条件下的超光滑表面无损抛光加工,实现了高质量光学表面的无损抛光加工。
- 张巨帆王波董申
- 关键词:超光滑表面单晶硅电容耦合
- 一种节流器后有台阶凸起的液体静压复合节流导轨
- 本发明公开了一种节流器后有台阶凸起的液体静压复合节流导轨,所述液体静压复合节流导轨包括溜板、油腔、节流器、导轨、封油边,所述溜板滑动地设置于导轨上;所述溜板的一侧表面中心设置有圆形沉槽,沉槽的中央安装有节流器,溜板的另一...
- 王波张志超吴言功乔政丁飞