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用FTMS方法制备Co／Cu巨磁阻超晶格多层薄膜: 1995年; 本文用双靶相对磁控溅射法（ＦＴＭＳ）在云母单晶基板上原位生长了巨磁阻Ｃｏ／Ｃｕ超晶格薄膜，研究了放电气压及背景真空对薄膜结构和电磁性质的影响．结果表明，在优化溅射沉积条件下生长的超晶格薄膜，具有很好的［１１１］择优取向外延结构和光滑的Ｃｏ／Ｃｕ界面．高背景真空条件下生长薄膜能明显减少薄膜及界面缺陷和得到较高的巨磁阻效应，随着Ｃｕ层厚度的增加，两个磁阻振荡峰及２８％的饱和室温磁阻被观察到，其振荡周期为０．９ｎｍ．磁化强度测量表明，随着Ｃｕ厚度的变化，薄膜中交替出现铁磁和反铁磁相邻层间偶合．; 曾宪庭赵伟杰费杨黄康权; 关键词：巨磁阻超晶格钴铜

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赵伟杰