邱服民
- 作品数：40 被引量：80H指数：6
- 供职机构：成都精密光学工程研究中心更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划中国工程物理研究院预先研究基金中国工程物理研究院科技基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程金属学及工艺更多>>
- 光学元件超声清洗工艺研究被引量：8
- 2012年
- 系统开展了光学元件超声清洗工艺的实验研究。通过研究超声清洗剂、清洗温度等工艺参数的优化,找到了能够有效祛除元件表面无机污染物和有机污染物的较佳超声清洗工艺,且超声清洗没有对光学元件表面产生损伤,清洗后的光学元件接触角小于6°,并不残留大于1μm的颗粒,超声清洗对光学元件表面污染物的祛除能力远胜于手工清洗。
- 王刚马平邱服民胡江川鄢定尧
- 关键词：超声清洗接触角粗糙度
- 基于覆盖折射率匹配层的偏振无关光栅及其制备方法
- 本发明公开了一种中心波长在近红外波段的高刻线密度、基于覆盖折射率匹配层的宽带偏振无关反射式介质光栅及其制备方法，涉及光学领域。所述光栅在熔石英衬底(1)上依次镀制有反射膜(2)和光栅功能层(3)。本发明提供的光栅结构针对...
- 张明骁马平卢忠文蒲云体乔曌吕亮邱服民
- 文献传递
- HfO_2/SiO_2高反膜、增透膜及偏振膜的1064nm激光损伤特性被引量：13
- 2001年
- 高反膜、增透膜和偏振膜是Nd∶YAG激光器中的关键薄膜元件 ,其抗激光损伤能力直接影响到激光器的输出能量和功率。由于优异的物理化学性能 ,高功率Nd∶YAG激光器的光学薄膜一般采用HfO2 /SiO2 膜料组合镀制 ,因而用此膜料镀制的光学薄膜的激光损伤特性是薄膜工作者重点关注的问题。对光学中心APS15 0 4镀膜机镀制的HfO2 /SiO2 高反膜、增透膜和偏振膜等开展了 10 64nm的激光损伤实验研究 ,用 2 0 0倍的Normaski显微镜详细分析了高反 ,增透和偏振膜的激光损伤图貌 ,发现对于脉宽为 10ns波长的 10 64nm的激光而言 ,高反膜基本表现为孔洞和等离子体烧蚀疤痕 ,孔洞是由薄膜中的节瘤 (nodular)缺陷的激光损伤引起的 ,损伤的能流密度较低 ,为薄膜的零损伤阈值密度。疤痕为薄膜的激光等离子体烧伤引起的 ,尺寸大小与激光能量密度成近似正比。增透膜一般为双面镀 ,分前后膜堆两种情况 ,前膜堆表现为孔洞和疤痕 ,与高反膜相似 ;后膜堆为孔洞型的小圆麻点聚积 ,麻点处的薄膜完全剥落 ,没有疤痕等烧伤痕迹 ,是激光在基片之间形成的驻波电场损毁 ,损伤阈值比前膜堆低 1 5倍 ,决定着增透膜的损伤阈值。偏振膜的低能量密度损伤与增透膜后膜堆相似 ,表现为孔洞型小麻点聚积 ,损伤处未见疤痕等烧蚀痕迹。对薄膜小尺度损?
- 胡建平邱服民马平
- 关键词：高反膜增透膜激光损伤光学薄膜
- 氧化物薄膜的激光预处理效应研究
- 2001年
- 对高功率激光薄膜常用的HfO2/SiO2、ZrO2/SiO2、ZrO2/SiO2+Y2O3/SiO2和Ta2O5/SiO2等膜料镀制的高反膜,采用N-ON-1激光运行方式,即对薄膜单点辐照的激光能量密度,以薄膜损伤阈值的50%开始,由小到大直到薄膜发生损伤,进行激光预处理效应研究.实验表明,HfO2/SiO2高反膜的激光预处理效果最好,激光损伤阈值提高3倍以上,ZrO2/SiO2和ZrO2+Y2O3/SiO2次之,提高1.5倍以上,而Ta2O5/SiO2较差,几乎没有激光预处理效应.对HfO2/SiO2薄膜激光预处理研究发现,其效应有两种形式,薄膜激光老化和薄膜表面缺陷低能量密度激光清除.薄膜激光老化是指没有缺陷的薄膜经预处理后损伤阈值大幅度提高,一般为2倍以上,薄膜缺陷激光清除是指以节瘤为代表的低能量密度损伤缺陷,以其损伤阈值附近的能量损伤,形成10 μm左右的孔洞等轻微损伤创面,其激光再损伤能力大幅度提高,达3倍以上,并且效果是永久性的.薄膜激光损伤尺度和程度对光谱性能影响的实验表明,直径小于200 μm的疤痕,孔洞等轻度损伤几乎没有影响,直径大于500 μm的层裂和疤痕,反射率下降小于10%,表明薄膜激光损伤程度对光学性能的影响有较大的差异,因而对于高反膜,损伤阈值不应以单纯的激光损伤为判断依据,应以不影响工程实际应用,即功能性激光损伤阈值为依据.(OH6)
- 胡建平付雄鹰邱服民马平蒋晓东
- 关键词：高功率激光氧化物薄膜
- 一种红外低折射率光学薄膜及其制备方法
- 本发明公开了一种红外低折射率光学薄膜及其制备方法，属于光学薄膜领域。所述红外低折射率光学薄膜通过有效的制备方法并采用稀土族元素氟化物YF<Sub>3</Sub>制备得到，通过该方法制备得到的红外低折射率光学薄膜具有无定形...
- 蒲云体马平王刚卢忠文吕亮张明骁邱服民乔曌彭东旭
- 环摆抛双面抛光机
- 本发明公开了一种环摆抛双面抛光机，属于光学元件加工技术领域。它包括下盘、套圈、分离器、上盘和主臂，套圈与主动轮、限位轮外切，还包括辅机座和偏心轮，上盘的上端经主臂与辅机座连接，上盘上设有辅臂，辅臂外端与偏心轮连接，偏心轮...
- 杨李茗鄢定尧何曼泽刘民才王琳欧光亮周佩璠刘义彬刘夏来蔡红梅胡江川张宁姜莉戴红岭邱服民赵春茁
- 低缺陷光学薄膜制备方法及其制品
- 本发明公开了一种低缺陷光学薄膜制备方法及其制品。薄膜制备方法包括：热处理过程、采用离子束溅射方式镀制第一膜层的过程、采用离子束辅助电子束蒸镀方式镀制第二膜层的过程、薄膜表面平坦化处理的过程，采用电子束蒸镀方式镀涂第三膜层...
- 蒲云体马平彭东旭邱服民乔曌卢忠文吕亮张明骁
- 文献传递
- 氧化物薄膜的激光预处理效应研究
- 对高功率激光薄膜常用的HfO<,2>/SiO<,2>、ZrO<,2>/SiO<,2>、(ZrO<,2>+Y<,2>O<,3>)/SiO<,2>和Ta<,2>O<,5>/SiO<,2>等膜料镀制的高反膜,采用N-on-1激...
- 胡建平傅雄鹰邱服民蒋晓东
- 关键词：激光预处理损伤阈值高反膜激光损伤氧化物薄膜光学薄膜
- 文献传递
- 基于折射率调控薄膜的偏振无关反射式介质光栅
- 本发明涉及一种基于折射率调控薄膜的偏振无关反射介质光栅，属于光学领域，所述光栅包括衬底1和光栅层4，并且衬底1上依次镀制有反射膜2、氧化物介质膜连接层3，并在光栅层刻蚀光栅槽结构；所述反射膜2为折射率调控多层介质薄膜，该...
- 张明骁马平蒲云体乔曌卢忠文吕亮邱服民
- 文献传递
- 光学薄膜的激光诱导损伤与材料带隙的关系被引量：12
- 1999年
- 采用多光子吸收电离模型讨论了光学薄膜的激光诱导损伤与其材料带隙的关系，分析了实际光学薄膜存在大量的非化学计量比化合物缺陷时，损伤阈值的变化，给出了光学薄膜的损伤阈值与其材料带隙的关系曲线。
- 李丹朱自强付雄鹰邱服民
- 关键词：光学薄膜激光诱导激光损伤
