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郭玲玲
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2
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泉州师范学院物理与信息工程学院
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相关领域:
理学
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合作作者
郑光裕
泉州师范学院物理与信息工程学院
张治国
泉州师范学院物理与信息工程学院
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2006
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T1-x(In1-yCuy)xO薄膜的合成
本文主要介绍了利用真空反应蒸发技术,在氧分压8.5×10-2Pa左右、衬底温度400℃条件下蒸发高纯度的铟、锡和铜,在玻璃衬底上制备出T1-x(In1-yCuy)xO薄膜。并且对蒸发源材料质量比不同的样品进行了有关薄膜结...
郭玲玲
郑光裕
张治国
关键词:
温度特性
导电薄膜
文献传递
Sn_(1-x)(In_(1-y)Cu_y)_xO薄膜的合成
2006年
利用真空反应蒸发技术,在氧分压约为8.5×10-2Pa、衬底温度为400℃条件下蒸发高纯度的铟、锡和铜,在玻璃衬底上制备出Sn1-x(In1-yCuy)xO薄膜.研究了蒸发源材料质量比不同的样品的薄膜结构、透过率、薄膜的方块电阻和电阻率与温度的关系.实验结果表明,Sn1-x(In1-yCuy)xO透明导电薄膜具有优良的光电特性,而且制备出的Sn1-x(In1-yCuy)xO薄膜中In的含量大大减少,可以成为ITO薄膜的潜在替代材料.
郭玲玲
郑光裕
张治国
关键词:
温度特性
透过率
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