您的位置： 专家智库 > >

万松

作品数：6 被引量：1H指数：1
供职机构：北京大学更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇电容式
  • 2篇电容式加速度...
  • 2篇加速度
  • 2篇加速度计
  • 2篇硅基
  • 2篇硅基材料
  • 1篇弹簧
  • 1篇弹簧刚度
  • 1篇导航
  • 1篇电荷放大器
  • 1篇电路
  • 1篇电容
  • 1篇读出电路
  • 1篇多芯片
  • 1篇信号
  • 1篇信号差
  • 1篇应力
  • 1篇应力吸收
  • 1篇真空度测量
  • 1篇真空封装

机构

  • 6篇北京大学

作者

  • 6篇万松
  • 4篇张威
  • 4篇苏卫国
  • 2篇李雷
  • 2篇江少波
  • 2篇夏文
  • 1篇苏卫国
  • 1篇陈广忠
  • 1篇郑焕
  • 1篇李宋
  • 1篇张威

传媒

  • 1篇北京大学学报...

年份

  • 3篇2015
  • 2篇2014
  • 1篇2013
共 6 条 记 录，以下是 1-6
全选 清除 导出
排序方式：
高精度电容式加速度计温度补偿技术研究
MEMS加速度计应用到惯性导航领域的一个主要困难是性能指标（零偏和标度因数）的稳定性差。而外界环境温度波动以及器件发热是造成加速度计性能不稳定的重要因素。本文试图解决加速度计的温漂问题。　　本文建立了包括表头和专用的读出...
万松
关键词：电容式加速度计温度补偿最小二乘拟合惯性导航微机电系统
一种带有参考真空室的MEMS皮拉尼计
本发明公开了一种带有参考真空室的MEMS皮拉尼计。其特征在于，同一衬底上的两个微型皮拉尼计，其中一支真空封装在参考室内。将两支皮拉尼计一起置于测试环境中，同时输入相同的激励信号，通过外围电路测出对应的输出信号。其中真空封...
夏文张威苏卫国李雷万松
文献传递
一种新型MEMS电容式加速度计温度补偿电路
本发明公开一种集成温度补偿模块的电容式加速度计读出电路。传统的读出电路在电荷放大器后级对输出进行校正，信号放大的同时，噪声也放大相同的增益。本发明公开的读出电路采用不同的处理办法：温度补偿模块通过改变相应可变电容的容值来...
万松张威苏卫国李宋陈广忠徐楷斯
文献传递
一种热应力隔离的MEMS微加热器互联基板及其制备方法
本发明公开了一种热应力隔离的MEMS微加热器互联基板及其制备方法。本发明的MEMS微加热器互联基板包括：在衬底上形成绝缘层；在绝缘层上形成加热电阻；在加热电阻上形成第一隔离层，加热电阻镶嵌在第一隔离层的下表面；在第一隔离...
张威江少波苏卫国邓康发郑焕夏文万松李雷朱宁莉
文献传递
基于MEMS集成加热器的温控系统研究被引量：1
2014年
采用MEMS集成加热器设计一个温控系统。所用的加热器效率达到7.35 mm2K/mW,且功耗低。加热器面积为6 mm×6 mm,具有较高的系统集成度。该温控系统采用Fuzzy-PID温度控制算法,温度稳态误差小于0.1°C,并且约10秒即达到稳态,响应速度快。使用该系统对MEMS压力计进行环境温控,可明显抑制器件的温度漂移。
江少波苏卫国万松邓康发张威
关键词：MEMS传感器温度漂移集成度FUZZY-PID控制
一种基于MEMS弹簧的微型减振平台
本发明公开了一种基于MEMS弹簧的微型减振平台。本发明的微型减振平台主要由三层单元隔振平台组成，上层和中层单元隔振平台的下表面都均匀涂有减振胶，中层和下层单元隔振平台的上表面有凸台阵列，每层单元隔振平台的四周设有平面弹簧...
徐楷斯张威苏卫国朱宁莉万松
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0