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朱骏

作品数：64 被引量：6H指数：1
供职机构：上海集成电路研发中心更多>>
发文基金：上海市青年科技启明星计划国家自然科学基金“上海－应用材料研究与发展”基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 59篇专利
  • 5篇期刊文章

领域

  • 6篇电子电信

主题

  • 27篇刻蚀
  • 25篇光刻
  • 15篇淀积
  • 13篇电路
  • 13篇集成电路
  • 11篇光刻胶
  • 11篇光敏材料
  • 10篇湿法刻蚀
  • 10篇抗反射
  • 10篇半导体
  • 8篇衬底
  • 7篇绝缘
  • 7篇绝缘介质
  • 6篇介电
  • 5篇显影
  • 5篇化学反应
  • 5篇光化学
  • 5篇光化学反应
  • 5篇光刻工艺
  • 5篇干法刻蚀

机构

  • 64篇上海集成电路...
  • 20篇上海华虹(集...
  • 3篇华东师范大学

作者

  • 64篇朱骏
  • 6篇赵宇航
  • 4篇陈寿面
  • 3篇石艳玲
  • 2篇丁艳芳
  • 2篇李铭
  • 2篇唐深群
  • 1篇刘贇
  • 1篇胡少坚
  • 1篇胡红梅
  • 1篇任铮
  • 1篇罗天星
  • 1篇曹永峰
  • 1篇朱建军
  • 1篇金蒙
  • 1篇王勇
  • 1篇王勇
  • 1篇王勇

传媒

  • 5篇Journa...

年份

  • 1篇2016
  • 7篇2015
  • 1篇2012
  • 9篇2011
  • 16篇2010
  • 4篇2009
  • 4篇2008
  • 12篇2007
  • 9篇2006
  • 1篇2005
共 64 条 记 录，以下是 1-10
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