2024年12月24日
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李冬梅
作品数:
146
被引量:13
H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
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医药卫生
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合作作者
刘明
中国科学院微电子研究所纳米加工...
谢常青
中国科学院微电子研究所
梁圣法
中国科学院微电子研究所纳米加工...
霍宗亮
中国科学院微电子研究所
朱效立
中国科学院微电子研究所
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2009
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纳米孔结构、控制纳米孔大小的装置及方法
本公开提供一种纳米孔结构、控制纳米孔大小的装置及方法,该纳米孔结构,包括:介电薄膜材料,其上形成有纳米孔或纳米孔阵列;以及金属层,其形成于所述介电薄膜材料的正反表面;其中,所述介电薄膜材料和所述金属层上对应设置有通孔。本...
梁圣法
张文昌
项飞斌
姚志宏
李冬梅
刘明
谢常青
文献传递
声表延迟线仿真算法与版图的自动化设计
被引量:1
2010年
针对单向单相换能器(SPUDT)结构声表面波延迟线,编写了一款进行分析和制作的软件。分析过程为把SPUDT结构换能器看成若干叉指单元组成的网络,根据耦合模(COM)理论并结合等效电路模型得到换能器的混合P矩阵,进而得到器件的频响。同时制作了友好的人机交互界面,能对所设计的器件参数进行修改,并自动生成版图。模拟计算与试验测试结果相符。
李昊峰
贾锐
李冬梅
刘明
李维龙
陈晨
朱晨昕
关键词:
声表面波
延迟线
MATLAB仿真
版图
一种偶次级透射光栅
本发明属于衍射光学元件技术领域,公开了一种偶次级透射光栅,当光线为可见光应用波段时,其含有透光衬底,还包括镀在透光衬底上的不透光金属薄膜;所述不透光金属薄膜上分布有若干周期排列的透光栅线组,每个透光栅线组均含有若干指定宽...
李海亮
史丽娜
朱效立
李冬梅
谢常青
刘明
文献传递
一种声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法
本发明公开了一种声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法,包括:选择一压电基片,在该压电基片表面涂敷光刻胶,对该压电基片表面进行光刻,露出该压电基片表面的敏感膜区域;采用MPS溶液和PAH溶液对覆盖有光刻胶并露出敏感膜区域...
李冬梅
陈鑫
梁圣法
詹爽
谢常青
刘明
文献传递
电容器件及其制造方法
本发明实施例公开了一种电容器件,包括:下电极;下电极上的介质层,其中,所述介质层包括有机介质层;介质层上的上电极。通过形成包括有机介质层的介质层,有机介质层具有更好的电子俘获能力,可以减少电容器件的漏电,从而提高电容器件...
刘明
刘欣
姬濯宇
商立伟
谢常青
李冬梅
韩买兴
陈映平
王宏
文献传递
一种喷墨打印机
本发明提供了一种喷墨打印机,用于有机材料的微图形化加工,包括打印基底(1),还包括:能够向所述打印基底(1)发射光波(3)以固化有机材料微图形的光固化装置(2)。本发明提供的喷墨打印机将原有的加热固化方式改进为光波照射的...
李冬梅
刘明
谢常青
霍宗亮
姬濯宇
文献传递
一种表面波NO<Sub>2</Sub>气体传感器敏感薄膜的制备方法
本发明公开了一种表面波NO<Sub>2</Sub>气体传感器敏感薄膜的制备方法,该方法是在表面波延迟线的传播路径或声表面波谐振器上沉积非金属碲,形成敏感薄膜。该敏感薄膜可以采用热蒸发或者磁控溅射方式制作,通过热处理后得到...
李冬梅
刘明
谢常青
霍宗亮
张满红
龙世兵
文献传递
一种用于声表面波传感器的半导体薄膜的成膜方法
本发明公开了一种用于声表面波传感器的半导体薄膜的成膜方法,该方法包括:制备半导体氧化物溶胶和聚吡咯溶液,并将二者混合,经过剧烈搅拌及过滤后得到用于成膜的混合溶液;以及对基片进行清洁及干燥处理,将处理后的基片浸入该用于成膜...
叶甜春
闫学锋
李冬梅
刘明
侯成诚
周文
汪幸
谢常青
霍宗亮
张满红
龙世兵
文献传递
纳米孔结构及其加工设备和方法
本公开提供一种纳米孔结构及其加工设备和方法,该纳米孔结构的加工方法包括:步骤A:在硅片的正表面形成图形区域和具有窗口深度的槽型结构;步骤B:利用纳米孔结构的加工设备将硅片夹紧,使其正表面上的槽型结构对准第二夹具的第一开口...
梁圣法
张文昌
项飞斌
姚志宏
李冬梅
刘明
谢常青
文献传递
一种测试透射光栅绝对衍射效率的方法
本发明公开了一种测试透射光栅绝对衍射效率的方法,该方法通过切换透射光栅和镂空窗口测试衍射光强和入射光强,并计算衍射光强与入射光强度之比得透射光栅的绝对衍射效率。相对于现有测试方法,本发明在测试时操作和控制简单、方便,特别...
谢常青
洪梅华
朱效立
李冬梅
刘明
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