杨沁玉
- 作品数：33 被引量：30H指数：4
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- 脉冲负偏压的占空比对多孔氧化硅薄膜拉曼光谱的影响
- 用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法,以硅烷为源气体,在玻璃基片上沉积得到多孔的氧化硅薄膜.将反应过程中加在沉积区域的脉冲负偏压固定在-300V,当占空比从0.162增大到0.864时,薄膜样品的结构、形貌均不...
- 杨沁玉刘磊丁可张菁王庆瑞
- 关键词：占空比拉曼光谱等离子体增强化学气相沉积
- 文献传递
- 等离子体沉积Si/SiO_x纳米颗粒薄膜及发光特性的研究
- 硅是世界上矿藏最丰富,微电子工艺最成熟,光电集成最理想的半导体材料。但是由于硅是间接带隙光电材料,跃迁几率很低,引起硅的发光效率很低,并且发光不稳定,因此硅基发光一直是硅光电集成中最重要的难题。 1990年,T.Canh...
- 杨沁玉
- 关键词：偏压占空比
- 文献传递
- 介质阻挡放电等离子体沉积多孔硅纳米颗粒膜的光发射及红外光谱被引量：4
- 2010年
- 用介质阻挡放电(DBD)等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法,以硅烷为源气体,在沉积区域加载脉冲负偏压进行调节,在玻璃基片上沉积得到具有荧光特征的多孔硅纳米颗粒膜。沉积过程的发射光谱结果表明,在412 nm处出现S iH*(A2Δ→X2Π0-0)特征峰,证明放电沉积过程中存在不同程度的硅烷裂解。将脉冲负偏压固定在-300 V,当占空比从0.162增大到0.864时,薄膜的红外光谱显示S i—O—S i在1 070cm-1伸缩振动吸收峰与800 cm-1的弯曲振动峰都有所增强,而930 cm-1的S i—H弯曲振动减弱。说明随着占空比的增加,S i—O—S i键的结合越来越明显。
- 刘磊杨沁玉王德信杨平张菁
- 关键词：发射光谱红外光谱占空比
- 多参量光学传感器
- 本实用新型公开了一种多参量光学传感器，一宽带光源的输出光进入长周期光纤光栅，长周期光纤光栅的透射光经耦合器的第一个端臂进入耦合器，而后其中一部分光经耦合器的第二个端臂进入第一个光纤布喇格光栅，第一个光纤布喇格光栅的透射光...
- 詹亚歌杨沁玉薛绍林
- 文献传递
- 射频等离子体功率参数对硅基发光薄膜生长与结构的影响
- 2012年
- 采用射频等离子体化学气相沉积(RF-PECVD)技术,以SiH4和Ar的混合气体为源气体,在石英玻璃衬底上制备了硅基发光薄膜.利用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)和傅里叶红外光谱(FTIR)对薄膜的形貌、结构和性能进行了表征,并利用发射光谱(OES)对薄膜等离子体生长过程进行了分析.研究结果表明,随着射频功率的增加,等离子体发射光谱中Hβ谱线强度激增,薄膜的红外光谱中Si—O键在1095cm-1处振动吸收峰强度减小,Si—Si键在613cm-1处特征吸收峰强度增加,说明射频功率增加加剧了硅烷的裂解与氧化硅的还原,提高了薄膜结晶度和纳米晶粒的融合度,并降低了沉积薄膜的表面粗糙度.
- 邵宇光杨沁玉王德信石建军徐金洲郭颖张菁
- 常压介质阻挡放电聚合制备纳米颗粒膜双疏涂层方法
- 常压介质阻挡放电聚合涂层方法，可应用于织物、纤维、塑料薄膜、玻璃、陶瓷等其它基质上的拒水拒油整理。其特点是在常压室温下，把氟碳气态单体通过介质阻挡放电激发单体聚合，在基质材料表面涂覆一层极薄的纳米颗粒膜结构的双疏薄膜，可...
- 张菁郭颖杨沁玉周荣铭
- 文献传递
- 脉冲负偏压的占空比对多孔氧化硅薄膜拉曼光谱的影响被引量：2
- 2008年
- 用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法,以硅烷为源气体,在玻璃基片上沉积得到多孔的氧化硅薄膜。将反应过程中加在沉积区域的脉冲负偏压固定在-300V,当占空比从0.162增大到0.864时,薄膜样品的结构、形貌均不相同。拉曼光谱显示,位于480cm-1附近的峰在低占空比条件下存在,但是当占空比升高到0.702时该峰基本消失。位于560cm-1附近的峰则随着占空比的继续升高而增强,并出现蓝移,这说明薄膜样品中的非晶硅在占空比升高时消失,氧化硅所占比例不断增加,同时颗粒变小。扫描电镜照片也表明,组成多孔氧化硅薄膜的颗粒在占空比增大时变得细腻并且薄膜整体变得蓬松多孔。
- 杨沁玉刘磊丁可张菁王庆瑞
- 关键词：占空比拉曼光谱
- 全光纤型光纤光栅多参量传感系统
- 本发明公开了一种全光纤型光纤光栅多参量传感系统，一宽带光源的输出光进入长周期光纤光栅，长周期光纤光栅的透射光经耦合器的第一个端臂进入耦合器，而后其中一部分光经耦合器的第二个端臂进入第一个光纤布喇格光栅，第一个光纤布喇格光...
- 詹亚歌杨沁玉薛绍林
- 文献传递
- 高精度多通道光纤光栅传感系统
- 一种高精度多通道光纤光栅温度传感系统，包括：宽带光源(1)、长周期光纤光栅(2)、1×n的分路器(3)、2×2的耦合器(4；9；14；19)、光纤布喇格传感光栅(7；12；17；22)、光电二极管(5；6；10；11；1...
- 詹亚歌杨沁玉薛绍林
- 文献传递
- 多参量和多功能型光纤光栅传感技术被引量：4
- 2007年
- 介绍了多参量和多功能型光纤光栅传感技术的原理、发展历史和现状,重点介绍了利用基于光纤光栅的一个传感头同时测量多个参量的技术。详细分析了利用一个光纤光栅传感头同时测量温度和应变的原理和技术,对多参量传感中的传感头结构进行了总结和分类,提出并分析了新的多功能型光纤光栅多参量传感系统。
- 詹亚歌吴华许毓敏杨沁玉
- 关键词：布拉格光纤光栅长周期光纤光栅多参量传感
