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甄丽娟

作品数：16 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 13篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 9篇有机半导体
  • 9篇半导体
  • 8篇晶体
  • 8篇晶体管
  • 8篇光刻
  • 8篇光刻胶
  • 6篇掩模
  • 4篇掩模版
  • 4篇有机半导体器...
  • 4篇有机薄膜晶体...
  • 4篇图形化
  • 4篇刻蚀
  • 4篇半导体器件
  • 4篇薄膜晶体
  • 4篇薄膜晶体管
  • 3篇有机场效应晶...
  • 3篇金属
  • 3篇场效应
  • 3篇场效应晶体管
  • 2篇电极

机构

  • 16篇中国科学院微...

作者

  • 16篇甄丽娟
  • 15篇商立伟
  • 15篇刘明
  • 11篇刘舸
  • 10篇刘兴华
  • 9篇涂德钰

传媒

  • 1篇Journa...
  • 1篇微细加工技术

年份

  • 2篇2011
  • 5篇2010
  • 6篇2009
  • 2篇2008
  • 1篇2007
共 16 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一次掩膜光刻同时定义有机薄膜晶体管源漏栅电极的方法
本发明公开了一种有机薄膜晶体管的制备方法，利用一次掩膜光刻同时定义出有机薄膜晶体管的源漏栅电极，包括：在衬底正面形成具有透光性的有机绝缘栅介质层；用保护卡具保护有机绝缘栅介质层，腐蚀衬底的背面至介质层镂空；在有机绝缘层正...
甄丽娟商立伟刘兴华刘明
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应用于有机电路的双金属电极结构及其制备方法
本发明公开了一种应用于有机电路的双金属电极结构，该结构由有机半导体薄膜、第一层金属薄膜和沉积在该第一层金属薄膜上的第二层金属薄膜构成。对于顶接触式器件结构，该第一层金属薄膜为高功函数金属薄膜，该第二层金属薄膜为廉价金属薄...
商立伟刘明涂德钰甄丽娟刘舸刘兴华
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一种制备有机场效应晶体管的方法
本发明公开了一种制备有机场效应晶体管的方法，该方法包括：在衬底上采用光刻和剥离工艺形成分立的金属栅电极；在衬底和栅电极上形成栅介质绝缘层；在栅介质绝缘层上旋涂光刻胶，经过曝光显影得到光刻胶掩模版图形；在栅介质绝缘层和光刻...
甄丽娟刘明商立伟刘舸
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应用于有机电路的双金属电极结构及其制备方法
本发明公开了一种应用于有机电路的双金属电极结构，该结构由有机半导体薄膜、第一层金属薄膜和沉积在该第一层金属薄膜上的第二层金属薄膜构成。对于顶接触式器件结构，该第一层金属薄膜为高功函数金属薄膜，该第二层金属薄膜为廉价金属薄...
商立伟刘明涂德钰甄丽娟刘舸刘兴华
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一种制备有机场效应晶体管的方法
本发明公开了一种制备有机场效应晶体管的方法，该方法包括：在衬底上采用光刻和剥离工艺形成分立的金属栅电极；在衬底和栅电极上形成栅介质绝缘层；在栅介质绝缘层上旋涂光刻胶，经过曝光显影得到光刻胶掩模版图形；在栅介质绝缘层和光刻...
甄丽娟刘明商立伟刘舸
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有机半导体薄膜层的图形化方法
2007年
对有机半导体层的图形化方法进行了详细介绍。对比分析了非传统有机半导体薄层的图形化方法和与传统光刻技术类似的有机层图形化方法,指出了各种方法的适用范围及其优缺点。
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关键词：图形化有机半导体喷墨打印
基于CuPc的有机场效应晶体管器件电路研究
有机电子作为一个新兴的研究领域，由于其低成本、柔性和可大面积制造等优点得到学术界和企业的广泛关注，成为目前的研究热点。有机半导体器件，尤其是有机场效应晶体管(OFET)器件，是有机电子技术的基础。本论文选择相对成熟的酞菁...
甄丽娟
关键词：有机场效应晶体管酞菁铜
一种有源层图形化的有机薄膜晶体管的制备方法
本发明涉及有机半导体器件及微细加工技术领域，公开了一种有源层图形化的有机薄膜晶体管的制备方法，该方法在金属源漏电极制备完毕之后采用光刻胶作为掩模版，先用真空蒸镀法制备有机半导体薄膜层，再在该有机半导体薄膜层上采用室温PE...
甄丽娟商立伟刘明
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一种有源层图形化的有机薄膜晶体管的制备方法
本发明涉及有机半导体器件及微细加工技术领域，公开了一种有源层图形化的有机薄膜晶体管的制备方法，该方法在金属源漏电极制备完毕之后采用光刻胶作为掩模版，先用真空蒸镀法制备有机半导体薄膜层，再在该有机半导体薄膜层上采用室温PE...
甄丽娟商立伟刘明
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一种制备镂空的聚酰亚胺蒸发掩模漏版的方法
本发明是一种用于半导体器件制造的蒸发掩模漏版的制备方法。其工艺步骤如下：1.在双面抛光的硅片衬底上形成聚酰亚胺薄膜层；2.在聚酰亚胺薄膜层上形成光刻胶图形；3.在聚酰亚胺和光刻胶图形层上蒸发金属层；4.剥离形成金属阻挡层...
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