石昌仑
- 作品数：4 被引量：15H指数：1
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 相关领域：一般工业技术更多>>
- 深管内壁电弧离子镀沉积TiN薄膜
- 石昌仑
- 深孔内壁电弧离子镀膜方法
- 深孔内壁电弧离子镀膜方法属于材料科学与工程技术领域。涉及一种用电弧离子镀在具有深孔结构的模具和管子内壁沉积薄膜的方法。其特征在于，在镀膜过程中同时使用工件周围的不均匀磁场与脉冲偏压，利用电磁场与等离子体的相互作用达到在深...
- 林国强石昌仑王文涛刘琪
- 文献传递
- 脉冲偏压对电弧离子镀深管内壁沉积TiN薄膜的影响被引量：15
- 2007年
- 用电弧离子镀设备,分别采用直流偏压和脉冲偏压的沉积工艺,在一端封口的50 mm×200 mm×5 mm的不锈钢深管内壁上沉积TiN薄膜,对薄膜的厚度、表面形貌、相结构、硬度和磨损性能等随管子深度的变化进行了对比测试。结果表明,两种工艺下薄膜的厚度、硬度以及耐磨性能都随管子的深度而下降,但与直流偏压相比,脉冲偏压能够提高薄膜厚度和硬度,减少大颗粒的尺寸和数量,提高耐磨性能;按照硬度不低于20 GPa的标准划分,脉冲偏压使镀膜深度提高了40%,即从直流偏压的50 mm提高到70 mm。
- 石昌仑张敏林国强
- 关键词：电弧离子镀TIN薄膜脉冲偏压
- 深孔内壁电弧离子镀膜方法
- 深孔内壁电弧离子镀膜方法属于材料科学与工程技术领域。涉及一种用电弧离子镀在具有深孔结构的模具和管子内壁沉积薄膜的方法。其特征在于，在镀膜过程中同时使用工件周围的不均匀磁场与脉冲偏压，利用电磁场与等离子体的相互作用达到在深...
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