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程顺昌
作品数:
2
被引量:4
H指数:1
供职机构:
四川大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
钟玉杰
四川大学物理科学与技术学院微电...
龚敏
四川大学物理科学与技术学院微电...
何毅
四川大学分析测试中心
杨治美
四川大学物理科学与技术学院微电...
孙小松
四川大学材料科学与工程学院
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程顺昌
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曹先存
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史同飞
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苏平
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何毅
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光散射学报
年份
2篇
2009
共
2
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一种新型硅基3C-SiC的生长方法及光谱学表征
被引量:3
2009年
采用LPCVD技术,以CH4和H2混合气体为反应源气,在n-Si(111)衬底上生长3C-SiC晶体薄膜。H2在反应过程中作为稀释气体和运输气体,CH4作为碳源,硅源有衬底硅来提供。利用X射线衍射分析仪、场发射扫描电子显微镜、激光拉曼光谱和傅里叶变换红外光谱分别研究3C-SiC薄膜的晶相结构、表面形貌及其光谱性质。结果表明此生长方法可以成功的成长出3C-SiC薄膜。
程顺昌
杨治美
钟玉杰
何毅
孙小松
龚敏
关键词:
拉曼散射光谱
傅里叶变换红外光谱
杂质与缺陷对GaMnAs光学特性影响的研究
被引量:1
2009年
提高GaMnAs材料中Mn的含量可以提高其居里温度,但随之而来也会引入很多缺陷。为了研究高含量Mn引入的缺陷对稀磁半导体材料的影响,本文对低温分子束外延技术(LT-MBE)生长的GaMnAs外延层进行了光电导以及红外等光谱的分析。通过对样品的光谱分析,发现样品中存在大量的As反位缺陷(AsGa)、Mn的间隙位缺陷(MnI)、以及在生长和退火过程中产生的Mn以及MnAs团簇等缺陷,这些缺陷都会影响外延层的光谱特性,同时也会影响器件的电学性能。
钟玉杰
程顺昌
苏平
龚敏
石瑞英
曹先存
史同飞
关键词:
红外光谱
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