谢春燕
- 作品数：8 被引量：7H指数：1
- 供职机构：北京航空航天大学更多>>
- 相关领域：理学化学工程更多>>
- 一种制备掺铝氧化锌透明导电薄膜的装置及方法
- 本发明公开了一种制备掺铝氧化锌透明导电薄膜的装置及方法，该装置是对现有金属有机化学气相沉积MOCVD设备进行的改进，改进后的MOCVD，具有锌源气路和氧源气路，锌源气路用于提供成膜原料，氧源气路用于提供加工膜时的热的水蒸...
- 张跃谢春燕谷景华
- 文献传递
- 金属有机化学气相沉积法制备Al掺杂ZnO透明导电膜
- 本文采用自行开发的金属有机化学气相沉积(metal organic chemical vapor deposition,MOCVD)法,以乙酰丙酮锌和乙酰丙酮铝分别为锌源和铝源,以氮气为载气,在玻璃衬底上制备A，掺杂Zn...
- 谢春燕张跃
- 关键词：气相沉积
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- 一种采用低温水热法制多孔陶瓷材料的方法
- 本发明公开了一种采用低温水热法制多孔陶瓷材料的方法，是利用水热反应将陶瓷成型体浸入二氧化硅溶胶中，按照溶解-沉淀机理，部分二氧化硅颗粒会沉淀在陶瓷晶粒的表面起到“粘结”的作用从而制得多孔陶瓷材料。本发明的制备方法中水热温...
- 张跃李昂谢春燕
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- MOCVD方法制备掺铝氧化锌透明导电薄膜的研究
- 谢春燕
- 关键词：透明导电膜掺铝氧化锌MOCVD
- 一种制备掺铝氧化锌透明导电薄膜的装置及方法
- 本发明公开了一种制备掺铝氧化锌透明导电薄膜的装置及方法，该装置是对现有金属有机化学气相沉积MOCVD设备进行的改进，改进后的MOCVD，具有锌源气路和氧源气路，锌源气路用于提供成膜原料，氧源气路用于提供加工膜时的热的水蒸...
- 张跃谢春燕谷景华
- 制备工艺对MOCVD法制备铝掺杂氧化锌透明导电膜结构及性能的影响
- 采用自行设计的大气开放式金属有机化学气相沉积(MOCVD)设备,以乙酰丙酮锌和乙酰丙酮铝为原料,氮气为载气,制备了铝掺杂氧化锌(ZAO)薄膜,采用XRD和SEM对薄膜的物相组成和表面结构进行表征。结果表明,ZAO薄膜为多...
- 杨泰生谢春燕张跃
- 关键词：透明导电膜MOCVD
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- 金属有机化学气相沉积法制备Al掺杂ZnO透明导电膜被引量：7
- 2010年
- 采用自行开发的金属有机化学气相沉积(metal organic chemical vapor deposition,MOCVD)法,以乙酰丙酮锌和乙酰丙酮铝分别为锌源和铝源,以氮气为载气,在玻璃衬底上制备Al掺杂ZnO(Al-doped ZnO,ZAO)薄膜。通过改造MOCVD设备提高制备薄膜的稳定性和均匀性,研究了基片温度、载气流量、水蒸气等沉积条件对薄膜结构,沉积速率及其光、电性能的影响。用扫描电子显微镜、X射线衍射、紫外-可见分光光度计和四探针双电测电阻仪分别观察薄膜形貌结构,并测试其光、电性能。结果表明:薄膜为均匀、致密的纳米多晶薄膜,具有六角纤锌矿结构,且呈c轴择优取向生长;薄膜的(002)衍射峰与纯ZnO相比向低角度方向偏移,表明Al进入了ZnO晶格,并导致晶格膨胀;薄膜的紫外-可见光谱透过率在85%以上;电阻率最小可达10-4??cm。
- 谢春燕张跃
- 关键词：金属有机化学气相沉积透明导电薄膜
- 一种采用低温水热法制多孔陶瓷材料的方法
- 本发明公开了一种采用低温水热法制多孔陶瓷材料的方法，是利用水热反应将陶瓷成型体浸入二氧化硅溶胶中，按照溶解－沉淀机理，部分二氧化硅颗粒会沉淀在陶瓷晶粒的表面起到“粘结”的作用从而制得多孔陶瓷材料。本发明的制备方法中水热温...
- 张跃李昂谢春燕
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