贾翠萍
- 作品数：26 被引量：31H指数：3
- 供职机构：中国石油大学（华东）物理科学与技术学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金吉林省科技发展计划基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程医药卫生社会学更多>>
- 基于PDLC的可变光衰减器的研制被引量：1
- 2006年
- 介绍了一种新型的低成本、小体积的的液晶可变光衰减器的设计与制作.该衰减器采用聚合物分散液晶材料,使其填充在经过耦合的带透明导电电极的两根单模光纤的间隙里,利用聚合物分散液晶在不同电场强度下引起的光的散射效应的变化,来实现对光路能量的可控连续衰减.采用体硅微细加工技术术成功地制作出了这种衰减器,并对器件进行了测试,结果表明:当传输的光波长为1550nm时,该衰减器的插入损耗为0.85dB;衰减的最大范围为0.85dB-14.21dB;驱动电压范围9V^57V.
- 仲志成刘彩霞张歆东王明峰唐勇贾翠萍薛海林陈维友
- 关键词：插入损耗微电子机械系统
- MOEMS阵列光开关的研制
- 设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关，开关由上电极阵列、下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成的。上电极阵列利用（110）硅片制作，其中包括反射镜阵列和扭臂驱动结构的上电极。下电极阵列利用偏一定角度的（111）硅片制作。
- 陈维友董玮12张歆东刘彩霞贾翠萍潘建旋孙东明徐宝琨王立军
- 关键词：光开关硅片反射镜光纤阵列
- 文献传递网络资源链接
- (110)硅基MEMS光开关光纤定位槽的设计被引量：1
- 2006年
- 利用KOH溶液腐蚀在(110)硅片上制作2×2 MEMS光开关,微反射镜表面光滑且垂直度较好,其质量高于用同样方法在(100)硅片上制作的反射镜,但是却存在自对准V型槽难以实现的问题。依据(110)硅片的结晶学特点,设计并制作了夹角为38.94°的两个光纤定位槽:一个为U型槽,两侧面均为{111}面;另一个是呈锯齿状的光纤槽,它是由腐蚀出的平行四边形蚀坑串组成。介绍了锯齿状沟槽的实现原理,对平行四边形蚀坑尺寸进行了分析设计,并采用菱形凸角补偿结构实现凸角补偿。这两种光纤定位槽结构都能够很好地固定光纤,并实现了光纤的自对准,且制作方法简单。
- 贾翠萍董玮周敬然王丹臧会东徐宝琨陈维友
- 关键词：光开关
- 光子射频移相器研究与进展被引量：1
- 2007年
- 光子射频移相器是光控相控阵的关键器件,近几年引起了广泛的关注。介绍了基于光实时延迟线、基于外差混频技术和基于矢量和技术的光子射频移相器,对其工作原理和技术特点作了分析。集成光学技术的发展将推动光子射频移相器向集成化、微型化的方向发展。
- 马文英董玮刘彩霞张歆东贾翠萍周敬然陈维友
- 倾斜下电极结构的扭臂式静电驱动光开关及其制作方法
- 本发明涉及一种具有倾斜下电极结构的扭臂式静电驱动微机械光开关及其制作方法。光开关由扭臂1、微反射镜2、上电极3、绝缘层4、倾斜下电极5组成。其中，微反射镜的镜面和上电极相垂直，扭臂、微反射镜和上电极为一体结构，在同一硅片...
- 董玮陈维友刘彩霞张歆东孙东明贾翠萍潘建旋徐宝琨
- 文献传递
- 8×8 MEMS光开关阵列的制作
- 2006年
- 采用MEMS技术制作了静电驱动的扭臂结构8×8光开关阵列,主要包括上下电极的制作.利用硅在KOH溶液中各向异性腐蚀特性及(110)硅的结晶学特点,在(110)硅片上制作出8×8光开关微反射镜上电极阵列,考虑到在腐蚀时微反射镜有很大的侧蚀,对开关结构进行了调整.在偏一定角度的(111)硅片上制作了倾斜的下电极.整个开关制作工艺简单,成本低.开关寿命大于1000万次,开关时间小于10ms.
- 贾翠萍董玮周敬然刘彩霞臧会东玄伟徐宝琨陈维友
- 关键词：光开关微反射镜开关时间
- （100）硅片的各向异性腐蚀及微反射镜的制作
- 2002年
- 在（100）硅片上进行各向异性腐蚀时，能暴露垂直的{100}面、倾角为45°的{110}面和倾角54°的{111}面，{111}面是沿着<100>方向形成的，{100}和{110}面是沿着<100>方向形成的。用纯KOH水溶液和KOH+IPA（异丙醇）混合水溶液在（100）硅片上沿<100>方向腐蚀所暴露的平面是不同的，使用纯KOH水溶液总是能暴露与衬底垂直的{100}面，在使用KOH+IPA混合溶液时，当KOH的浓度较低的，暴露与裤底倾角是45℃的{110}面，当KOH溶度高于50％时，暴露出光滑且与衬底垂直的{100}面。根据这一结论，使用KOH浓度高于50％的KOH+IPA混合水溶液，在（100）硅片上沿着<100>方向制作出微反射镜，微镜的表面粗糙度低于100nm。
- 纪平潘建旋徐宝琨董玮陈维友刘彩霞张歆东贾翠萍张龙
- 关键词：各向异性腐蚀微反射镜表面粗糙度倾角
- 硅基8×8MEMS光开关阵列关键技术的研究
- 本文研究制作了微镜反射型扭臂驱动结构的8×8MEMS光开关阵列。首先,通过(110)硅片在KOH溶液中的腐蚀特性研究,确定了制作光开关阵列微反射镜的最佳腐蚀条件,实验研究确定了在(110)硅片通过定向掩模腐蚀难以制作出自...
- 贾翠萍
- 文献传递
- 具有倾斜下电极的扭臂驱动结构的设计与制作被引量：1
- 2003年
- 分析了扭臂驱动结构的上电极端部位移与外加电压之间的关系 ,提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构 ,并通过倾斜一定角度的 (111)硅片的各向异性腐蚀制作了倾斜下电极 .理论分析和实验结果表明 ,倾斜下电极的 pull-in电压几乎比平面下电极的 pull- in电压降低一半 .
- 董玮阮圣平张歆东刘彩霞贾翠萍潘建旋张龙孙东明纪平陈维友
- 关键词：微机械光开关倾斜下电极
- 倾斜下电极结构的扭臂式静电驱动光开关及其制作方法
- 本发明涉及一种具有倾斜下电极结构的扭臂式静电驱动微机械光开关及其制作方法。光开关由扭臂1、微反射镜2、上电极3、绝缘层4、倾斜下电极5组成。其中，微反射镜的镜面和上电极相垂直，扭臂、微反射镜和上电极为一体结构，在同一硅片...
- 董玮陈维友刘彩霞张歆东孙东明贾翠萍潘建旋徐宝琨
- 文献传递
