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赵江山
作品数:
140
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H指数:4
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中国科学院光电研究院
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相关领域:
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合作作者
周翊
北京市准分子激光工程技术研究中...
王宇
中国科学院光电研究院
沙鹏飞
中国科学院光电研究院
李慧
中国科学院光电研究院
宋兴亮
北京市准分子激光工程技术研究中...
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2007
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一种棱镜角度装调装置
本实用新型提出一种棱镜角度装调装置,该测量装置包括基板、棱镜组平台、导轨、精密转台、自准直仪、电脑,该装置解决了棱镜组中各棱镜角度装配、调节的问题。通过捕捉光束入射到棱镜表面的反射光信息,实现对棱镜角度的测量。克服了现有...
王倩
周翊
赵江山
刘广义
文献传递
激光器发散角及光斑形状测量装置
本实用新型提供了一种激光器发散角及光斑形状测量装置。所述测量装置中使用多个45°全反镜在二维方向上展开光路,缩短测量装置中光路两端间的直线距离,使测量装置更紧凑,测量数据更准确,并且通过使用多个45°全反镜可以同时测量激...
沙鹏飞
宋兴亮
赵江山
李慧
彭卓君
鲍洋
周翊
王宇
文献传递
光纤光栅传感器
本实用新型公开了一种精确测量ArF准分子激光器腔内温度的光纤光栅传感器,包括:由再涂覆后的光纤光栅传感头(1)、连接在光纤光栅传感头(1)一端的传输光纤(2),以及充满不锈钢管(5)内部的导热胶(3)组成的光纤光栅传感元...
范元媛
沙鹏飞
宋兴亮
赵江山
李慧
鲍洋
周翊
王宇
文献传递
一种改进谐振腔的窄线宽准分子激光器
本发明公开了一种准分子激光器,包括放电腔,该放电腔具有两个相对的出射端,其中一个出射端放置全反镜,另一个出射端沿光路依次放置棱镜和光栅,该激光器的谐振腔由所述全反镜和所述光栅之间的光路上的光学元件构成,该谐振腔的输出位于...
单耀莹
沙鹏飞
彭卓君
李慧
张立佳
范元媛
赵江山
周翊
王宇
一种预电离陶瓷管
一种预电离电极陶瓷管,由多段较短的陶瓷管组合而成,既能起到形成辉光放电绝缘介质的作用,又能降低陶瓷管的烧制难度和生产成本,同时保证了陶瓷管的烧制质量和成品率,减少陶瓷管中的缺陷,从而提高准分子激光器的可靠性。
丁金滨
刘斌
陈进新
王宇
周翊
赵江山
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用于激光器放电腔的电磁力密封窗装置
本发明公开了一种用于激光器放电腔的电磁力密封窗装置,其具有出光窗片,所述激光器放电腔产生的激光经由该出光窗片向外界出射,其特征在于,所述电磁力密封窗装置由腔体密封端(201)、电磁密封段(202)和窗片密封端(203)构...
刘斌
丁金滨
王魁波
沙鹏飞
周翊
王宇
赵江山
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双腔气体激光器的温度控制装置
本实用新型公开了一种双腔气体激光器的温度控制装置,所述准分子激光器具有第一腔体模块和第二腔体模块,第一腔体模块和第二腔体模块均包括放电腔、磁压缩器和固体开关,所述温控系统包括用于对所述两个磁压缩器进行冷却的冷却系统、用于...
王魁波
丁金滨
刘斌
周翊
王宇
赵江山
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一种准分子激光器的温度控制方法和系统
本发明公开了一种准分子激光器的温度控制方法和系统,其中该准分子激光器包括放电腔、多个温度检测器和多个温度控制装置,所述放电腔在工作时会产生热量,所述多个温度检测器用于检测与放电腔的温度有关的多个位置的温度,多个温度控制装...
张立佳
吴晓斌
赵江山
丁金滨
陈进新
李慧
刘斌
崔惠绒
周翊
王宇
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用于准分子激光器的卤素气体补充装置
本实用新型公开了一种用于准分子激光器的卤素气体补充装置,准分子激光器的腔体具有进入管道和出气管道,卤素气体补充装置包括冷凝器(1)、氧气提供装置(2)、压缩机(3)和储气室(4),储气室(4)分别与出气管道、冷凝器(1)...
沙鹏飞
单耀莹
彭卓君
宋兴亮
蔡茜玮
范元媛
李慧
赵江山
周翊
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一种基于光谱色散原理的激光相干长度调节设备
本实用新型公开了一种基于光谱色散原理的激光相干长度调节设备,设备包括激光光源单元(1)、光谱色散单元(2)和光谱控制单元(3),还可包括光谱检测单元(4),激光光源单元(1)发出的激光(S1)入射到光谱色散单元(2),光...
范元媛
赵江山
吴月婷
王倩
周翊
王宇
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