马锋
- 作品数：9 被引量：18H指数：2
- 供职机构：中国科学院兰州物理研究所更多>>
- 发文基金：表面工程技术国家级重点实验室基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信一般工业技术更多>>
- 宽截止长波红外带通滤光片的研制
- 针对空间用宽截止长波红外带通滤光片具有通带内平均透射率高、抑制带截止深度深、波纹系数小,可适应复杂环境条件,具有高稳定性和高可靠性等特点,以10.03μm～12.50μm和10.6μm～11.2μm两类宽截止长波红外带通...
- 叶自煜王多书张佰森陈焘马锋盖志刚
- 关键词：滤光片长波红外光学系统
- 文献传递
- 离子束辅助和真空退火对硫化锌薄膜应力的影响
- 在硅基底上用电子束蒸发方法制备了硫化锌薄膜。通过 XRD 和薄膜应力测试仪研究了离子束辅助和真空退火对硫化锌薄膜应力的影响规律。结果表明未采用离子辅助技术制备的硫化锌薄膜为压应力,平均应力值为110.6 MPa,当采用离...
- 陈焘罗崇泰王多书刘宏开王济洲马锋
- 关键词：硫化锌薄膜离子束辅助真空退火应力
- 文献传递
- 宽截止长波红外带通滤光片的研制被引量：8
- 2009年
- 针对空间用宽截止长波红外带通滤光片具有通带内平均透射率高、抑制带截止深度深、波纹系数小,可适应复杂环境条件,具有高稳定性和高可靠性等特点,以10.03μm～12.50μm和10.6μm～11.2μm两类宽截止长波红外带通滤光片为研究对象,论述了宽截止长波红外带通滤光片的设计原则和方法,采用"会聚光红外光学系统"和等离子体辅助沉积工艺成功镀制了空间用宽截止长波红外带通滤光片。指出等离子体辅助沉积工艺更有利于改善长波红外滤光片膜层的显微结构和残余应力消除。
- 叶自煜王多书张佰森陈焘马锋盖志刚
- 关键词：滤光片长波红外光学系统
- 离子束辅助沉积和真空退火对硫化锌薄膜应力的影响被引量：8
- 2009年
- 在硅基底上用电子束蒸发方法制备了硫化锌薄膜。通过XRD和薄膜应力测试仪研究了离子束辅助沉积和真空退火对硫化锌薄膜应力的影响规律。结果表明,未采用离子辅助技术制备的硫化锌薄膜为压应力,平均应力值为110.6 MPa,当采用离子束辅助工艺时硫化锌薄膜的压应力增加了62.3MPa。真空退火使硫化锌薄膜的平均应力大约降低了二分之一。硫化锌薄膜的微观结构变化是影响薄膜应力的主要因素。
- 陈焘罗崇泰王多书刘宏开王济洲马锋
- 关键词：硫化锌薄膜离子束辅助沉积真空退火应力
- 宽截止长波红外带通滤光片的研制
- 宽截止长波红外带通滤光片在空间光学遥感系统红外相机和多光谱成像仪中广泛应用,主要用于对地成像观测和光谱分析监测;在我国新波段/谱段、新原理空间光学遥感器技术发展规划中,也对长波红外光学薄膜器件提出了研发需求。空间光学遥感...
- 叶自煜王多书陈焘张佰森马锋盖志刚
- 关键词：滤光片长波红外
- 文献传递
- 离子束辅助沉积和真空退火对硫化锌薄膜应力的影响
- 在硅基底上用电子束蒸发方法制备了硫化锌薄膜。通过XRD和薄膜应力测试仪研究了离子束辅助沉积和真空退火对硫化锌薄膜应力的影响规律。结果表明,未采用离子辅助技术制备的硫化锌薄膜为压应力,平均应力值为110.6 MPa,当采用...
- 陈焘罗崇泰王多书刘宏开王济洲马锋
- 关键词：硫化锌薄膜离子束辅助沉积真空退火应力
- 文献传递
- 对衍射光学元件温度特性的研究被引量：1
- 2008年
- 大多数空间光学仪器的工作环境温度变化范围都较大。对折射元件和衍射元件的温度特性进行了分析,建立了透镜焦距和衍射效率随环境温度的变化关系,并论述了利用衍射光学元件的温度特性实现光学系统消热差的原理和设计方法。
- 马锋王多书罗崇泰陈焘叶自煜刘宏开王济州
- 关键词：衍射光学红外光学系统
- 用于激光直写灰度掩模的二元金属薄膜的制备及光学性质被引量：2
- 2009年
- 利用磁控溅射方法制备了Zn/Al二元金属薄膜,得出了制备Zn/Al二元金属薄膜的工艺参数。论述了其在激光直写灰度掩模中的应用。
- 马锋王多书罗崇泰叶自煜刘宏开王济州
- 关键词：磁控溅射激光直写灰度掩模
- 离子束辅助沉积和真空退火对硫化锌薄膜应力的影响
- 陈焘罗崇泰王多书刘宏开王济洲马锋
