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一种基于光纤拉锥技术的接触式光纤微探头的制备方法: 本发明公开了一种基于光纤拉锥技术的接触式光纤微探头的制备方法。通过光纤拉锥技术，将单模光纤的直径拉细至小于40μm的范围内。然后将拉锥后的单模光纤准确地放入光纤熔接机的V型槽中，同时使光纤被拉锥部分置于光纤熔接机的放电区...; 黄强先赵剑史科迪李志渤蔡学超余惠娟; 文献传递

基于PVDF扫描测头的电路系统构建及性能测试: 2012年; 一种采用PVDF薄膜和压电传感器结合钨探针构成的新型扫描测头可以对柔软易损坏及具有大台阶特征的表面实现高精度非破坏性测量。基于该新型测头构建了硬件电路系统,并通过相关试验测试了系统特性。试验结果证明:该扫描测头在垂直方向上可实现亚纳米级的分辨率。; 魏晋鹏李志渤黄强先; 关键词：PVDF薄膜扫描探针显微镜

石英音叉三维谐振触发定位系统被引量：1: 2013年; 为实现对微器件等三维测量时在三维方向上任意单点的高精度触发定位,提出一种新型三维谐振触发定位系统。以石英音叉作为微力传感器,与一体式光纤微测杆测球相结合,利用其谐振参数(谐振振幅、谐振频率/谐振相位)对微力的高敏感性构建三维谐振触发测头。将该测头与三维纳米定位台、反馈控制模块、信号处理电路结合,分别构成完整的振幅反馈和相位反馈三维谐振触发定位系统。工作时驱动石英音叉测头处于谐振状态,检测顶端测球与试样表面接触微力引起的振幅变化或频率变化。测头顶端测球与试样表面在Z向以轻敲模式接触,在X、Y向以摩擦模式接触。实验结果显示:系统在X、Y、Z 3个方向的触发分辨力分别达到0.17 nm、0.20 nm、0.18 nm;三维重复性误差分别达到37.0 nm、70.6 nm、41.0 nm。实验结果验证了提出的三维谐振触发定位系统纳米量级精确定位的可行性和有效性。; 余惠娟黄强先李志渤史科迪程真英; 关键词：石英音叉谐振特性纳米

接触测量中的微探球力变形研究被引量：6: 2014年; 随着微纳米测量系统中测头微探球尺寸的不断减小和测量不确定度要求的不断提高,测力所引起的力变形误差对测量系统不确定度有着不可忽略的影响。根据Hertz理论,构建了微探球与工件接触时的接触模型、微探球与试样力变形模型,给出了最大允许测力估计方法和力变形计算方法。以现有的3种微纳米三坐标测量机微探球为参考,分别估计了允许最大测力及引起的力变形。结果表明,对于纳米量级测量不确定要求,接触式测量中微探球的受力变形误差是不可忽略的。; 李志渤黄强先赵剑尤焕杰程真英; 关键词：力变形

基于PVDF的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法: 本发明公开了一种基于PVDF的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法，其特征是采用PVDF压电薄膜作为具有简支梁结构的振动梁，将压电薄膜左右两端分别固定在两个相同结构的压电驱动器的外侧，压电驱动器的内侧对称固定设置在T型...; 黄强先余惠娟魏晋鹏黄帅宫二敏李志渤; 文献传递

一种基于压电薄膜的三维谐振触发测头系统设计: 近年来，随着超精密加工和微细加工技术的广泛应用，微型机械、超精密光学器件、MEMS等越发趋于微型化，传统的三坐标测量机(CoordinateMeasuring Machining，CMM)已满足不了这些微小器件和微位移量...; 李志渤; 关键词：系统设计压电薄膜; 文献传递

一种基于光纤拉锥技术的接触式光纤微探头的制备方法: 本发明公开了一种基于光纤拉锥技术的接触式光纤微探头的制备方法。通过光纤拉锥技术，将单模光纤的直径拉细至小于40μm的范围内。然后将拉锥后的单模光纤准确地放入光纤熔接机的V型槽中，同时使光纤被拉锥部分置于光纤熔接机的放电区...; 黄强先赵剑史科迪李志渤蔡学超余惠娟; 文献传递

基于PVDF的三维纳米谐振触发测头及定位系统被引量：4: 2015年; 微纳米三坐标测量机(Coordinate measuring machining,CMM)是目前微纳米三维测量领域的一个研究热点,针对微纳米CMM中三维纳米测头的研究瓶颈,提出一种与现有机械接触式测头和光学非接触式测头工作原理完全不同的、可达到纳米/亚纳米量级触发分辨力的新型谐振测头。利用聚偏氟乙烯(Poly vinylidene fluoride,PVDF)薄膜的压电特性和其谐振参数对微小作用力的高敏感性,PVDF薄膜与一体式光纤微测杆测球相结合构建成了基于PVDF薄膜的三维纳米谐振触发测头。该测头在z向以轻敲模式接触,在x、y向以摩擦模式接触。经过试验验证,由该测头与三维纳米定位平台、数据处理及反馈控制系统相结合构建成的三维谐振纳米触发定位系统在x、y、z三个方向的触发分辨力都达到了亚纳米量级,分别为0.12 nm、0.10 nm、0.12 nm;三维重复性误差分别为26 nm、36 nm、10 nm。试验结果证实了新型三维谐振测头及其系统的有效性。; 李志渤黄强先史科迪韩彬余惠娟

基于PVDF的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法: 本发明公开了一种基于PVDF的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法，其特征是采用PVDF压电薄膜作为具有简支梁结构的振动梁，将压电薄膜左右两端分别固定在两个相同结构的压电驱动器的外侧，压电驱动器的内侧对称固定设置在T型...; 黄强先魏晋鹏余惠娟黄帅宫二敏李志渤

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李志渤