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杨厚民
作品数:
3
被引量:14
H指数:1
供职机构:
中国科学院长春光学精密机械研究所
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相关领域:
机械工程
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合作作者
王炜
衍射光栅刻划机
王晓琳
中国科学院长春光学精密机械研究...
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文献类型
3篇
中文期刊文章
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3篇
机械工程
主题
3篇
光栅
1篇
调速
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衍射
1篇
衍射光栅
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软X射线
1篇
模拟计算
1篇
分度
1篇
分度误差
1篇
程控放大
机构
3篇
中国科学院长...
作者
3篇
杨厚民
2篇
王炜
1篇
王晓琳
传媒
1篇
光学精密工程
1篇
仪器仪表学报
1篇
光学学报
年份
1篇
1999
1篇
1996
1篇
1993
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衍射光栅刻划机分度误差的实时测量
1993年
本文提出了对光栅分度误差进行实时测量的方法,阐述了此方法的原理和实现过程。对测得数据,根据stroke理论分析了分度误差对光栅谱线产生的影响。实践证明,用此方法得到的谱线轮廓与用光谱法测得的谱线基本一致。
杨厚民
王晓琳
关键词:
光栅
分度误差
光电控制间歇运动衍射光栅机控制系统的改造升级
被引量:1
1996年
在分析了光电控制间歇运动衍射光栅刻划机(原刻划机)的基础上,针对原刻划机存在的不足,提出了相应的改进措施。据此设计构成了以单片机8031为核心的数控系统的硬件,实现了对分度信号的程控放大和幅值细分,提高了刻划机的分辨率;另外,用软件实现了直流力矩马达的分级调速,提高了刻划机的刻划精度。实验结果表明,改进后的刻划机分度重复性明显优于0.05ftm。
王炜
杨厚民
关键词:
衍射光栅
分度
程控放大
调速
平面变栅距光栅的原理及设计
被引量:13
1999年
从光程函数出发, 研究了平面变栅距光栅的聚焦及消像差原理, 并据此设计了用于软 X射线波段的变栅距光栅。用光线追迹程序对所设计的变栅距光栅进行了性能模拟计算。结果表明, 此光栅具有良好的聚焦性能。
王炜
杨厚民
关键词:
软X射线
模拟计算
光栅
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