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柴杉
柴杉
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
山东大学控制科学与工程学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
孙晓军
山东大学控制科学与工程学院
金萍
山东大学控制科学与工程学院
尹明
山东大学控制科学与工程学院
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尹明
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孙晓军
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光电子.激光
年份
1篇
2005
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电子束静电折板偏转系统研究
被引量:2
2005年
以SDS -3电子束曝光机为基础,用折板结构静电偏转替代直板结构静电偏转,探讨了电子束曝光机折板静电偏转场的电子轨迹与电位分布应满足的要求。导出了折板静电偏转灵敏度与电位分布之间的关系,给出静电偏转像差方程及像差系数。用矢量描写电子轨迹,以积分式表示像差系数,给出了折板结构方程与参量。像差系数适应计算机辅助运算。结果表明,折板结构静电偏完成的图像像差明显优于原直板结构静电偏。提供了静电折板偏转与直板偏转的相关计算数据及摩尔栅条纹图。
尹明
金萍
孙晓军
柴杉
关键词:
电子束
像差
折板结构
静电偏转
曲率
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