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石进杰
作品数:
2
被引量:6
H指数:1
供职机构:
北京大学信息科学技术学院微电子研究院
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相关领域:
机械工程
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合作作者
曾昭君
北京大学信息科学技术学院微电子...
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石进杰
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年份
2篇
2003
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一种抗大过载微型加速度计研究
讨论了一种抗大过载(150000g)的微型加速度计,主要内容包括:阐述加速度计的工作原理;设计一种新型十字梁的器件结构,并对这种结构进行抗大过载的冲击实验,以验证这种新型的结构对于大过载冲击的可靠性;进而利用ANSYS对...
曾昭君
石进杰
关键词:
加速度计
微机电系统
十字梁
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一种抗大过载微型加速度计研究
被引量:6
2003年
讨论了一种抗大过载 (15 0 0 0 0 g)的微型加速度计 ,主要内容包括 :阐述加速度计的工作原理 ;设计一种新型十字梁的器件结构 ,并对这种结构进行抗大过载的冲击实验 ,以验证这种新型的结构对于大过载冲击的可靠性 ;进而利用ANSYS对器件进行模态分析 ,找出结构上应变最大的位置 ,并对结构尺寸进行优化 ;提供一种可能的电路版图说明 ,并对加速度计的灵敏性进行理论分析 ;
曾昭君
石进杰
关键词:
微型加速度计
MEMS
ANSYS
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