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石进杰

作品数:2 被引量:6H指数:1
供职机构:北京大学信息科学技术学院微电子研究院更多>>
相关领域:机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇机械工程

主题

  • 2篇微型加速度计
  • 2篇加速度
  • 2篇加速度计
  • 1篇电路
  • 1篇电路版图
  • 1篇十字梁
  • 1篇微机电系统
  • 1篇机电系统
  • 1篇过载
  • 1篇版图
  • 1篇ANSYS
  • 1篇MEMS
  • 1篇电系统

机构

  • 2篇北京大学

作者

  • 2篇曾昭君
  • 2篇石进杰

传媒

  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇中国微米/纳...

年份

  • 2篇2003
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
一种抗大过载微型加速度计研究
讨论了一种抗大过载(150000g)的微型加速度计,主要内容包括:阐述加速度计的工作原理;设计一种新型十字梁的器件结构,并对这种结构进行抗大过载的冲击实验,以验证这种新型的结构对于大过载冲击的可靠性;进而利用ANSYS对...
曾昭君石进杰
关键词:加速度计微机电系统十字梁电路版图
文献传递
一种抗大过载微型加速度计研究被引量:6
2003年
讨论了一种抗大过载 (15 0 0 0 0 g)的微型加速度计 ,主要内容包括 :阐述加速度计的工作原理 ;设计一种新型十字梁的器件结构 ,并对这种结构进行抗大过载的冲击实验 ,以验证这种新型的结构对于大过载冲击的可靠性 ;进而利用ANSYS对器件进行模态分析 ,找出结构上应变最大的位置 ,并对结构尺寸进行优化 ;提供一种可能的电路版图说明 ,并对加速度计的灵敏性进行理论分析 ;
曾昭君石进杰
关键词:微型加速度计MEMSANSYS
共1页<1>
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