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贾佳
作品数:
35
被引量:9
H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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合作作者
刘明
中国科学院微电子研究所纳米加工...
谢长青
中国科学院微电子研究所
谢常青
中国科学院微电子研究所纳米加工...
朱效立
中国科学院微电子研究所纳米加工...
潘一鸣
中国科学院微电子研究所纳米加工...
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超分辨光子筛的制造方法
本发明公开了一种超分辨光子筛的制造方法,在透普通的光子筛上集成刻蚀等孔径的超分辨位相环,从而形成由普通光子筛和等孔径超分辨位相片合成的有多个同心环带的位相衍射单元的位相板。本发明将超分辨技术的圆孔衍射数学处理工具和普通光...
贾佳
谢长青
刘明
文献传递
部分环带光子筛及其制作方法
本发明公开了一种部分环带光子筛,该部分环带光子筛由在透明介质上制作而成的衍射孔和刻蚀圆环构成,所述衍射孔是在透明介质上制作形成普通光子筛时普通光子筛的衍射孔,所述刻蚀圆环是在透明介质上制作形成普通光子筛后,在形成普通光子...
贾佳
谢长青
刘明
文献传递
阵列3环2值位相环匀光器及其制作方法
本发明公开了一种阵列3环2值位相环匀光器,该阵列3环2值位相环匀光器是在透明介质上根据实际需要制造的3环2值位相环的阵列,阵列的大小由实际需要给出。所谓3环2值位相环是该种阵列型匀光器的基本单元。3环2值位相环是在透明的...
贾佳
谢长青
刘明
文献传递
激光远距离传输中央光斑的超分辨压缩振幅光调制器
一种激光远距离传输中央光斑的超分辨压缩振幅光调制器,利用光子筛技术实现压缩激光远距离传输中央衍射极限光斑主瓣,该调制器置于衍射极限透镜之后,对远场衍射光斑中央主瓣进行几何修正,修正的程度由器件结构决定。本发明的振幅光调制...
贾佳
姜骥
谢长青
刘明
文献传递
阵列部分环带光子筛匀光器及其制作方法
本发明公开了一种阵列部分环带光子筛匀光器及其制作方法。该阵列部分环带光子筛匀光器是一种在透明介质上根据实际需要制造的部分环带光子筛阵列,阵列的大小由实际需要给出。该部分环带光子筛是一种在透明介质上先制造普通的光子筛,然后...
贾佳
谢长青
刘明
硬X射线光子筛波导效应研究
被引量:2
2009年
基于快速傅里叶变换光束传播法,研究了硬X射线光子筛中高高宽比金属结构的波导效应,确定了硬X射线光子筛的物理边界条件,采用角谱法计算了硬X射线光子筛的点扩展函数,并分析了吸收体厚度对聚焦性能的影响.研究结果表明波导效应一定程度上有利于抑制光子筛高级衍射的产生,提高聚焦性能.在同样的特征尺寸下,硬X射线光子筛的空间分辨率优于菲涅尔波带片,其缺点是衍射效率的下降.吸收体厚度的提高有利于提高光子筛的聚焦性能和衍射效率,但是相应的纳米加工工艺难度会增加.
谢常青
朱效立
贾佳
关键词:
光束传播法
圆环型光子筛及其制作方法
本发明公开了一种圆环型光子筛,该圆环型光子筛是一种在透明介质上,先制造普通的光子筛,然后在每个普通光子筛的衍射孔处刻蚀双圆环位相环,形成有多个同心环带位相衍射单元的位相板。本发明同时公开了一种制作圆环型光子筛的方法。利用...
贾佳
姜骥
谢长青
刘明
文献传递
一种复合型波带片光子筛
本发明公开了一种复合型波带片光子筛,包括透光衬底和镀在其上的不透光的金属薄膜,所述不透光的金属薄膜上分布有一系列透光环带和若干透光小孔。其中,透光平面可以为熔融石英、普通玻璃、有机玻璃等透光材料,不透光薄膜为透光衬底上制...
谢常青
潘一鸣
朱效立
贾佳
刘明
阵列部分环带光子筛匀光器
本发明公开了一种阵列部分环带光子筛匀光器及其制作方法。该阵列部分环带光子筛匀光器是一种在透明介质上根据实际需要制造的部分环带光子筛阵列,阵列的大小由实际需要给出。该部分环带光子筛是一种在透明介质上先制造普通的光子筛,然后...
贾佳
谢长青
刘明
文献传递
用于大口径成像的复合型光子筛及其制作方法
本发明公开了一种用于大口径成像的复合型光子筛及其制作方法,属于衍射光学元件技术领域。所述复合型光子筛包括透光衬底和镀在其上的不透光的金属薄膜,在不透光薄膜上设计有一系列透光环带和随机分布的透光小孔。其中,透光平面可以为熔...
谢常青
潘一鸣
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贾佳
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