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邹彬
邹彬
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东华大学理学院
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合作作者
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施芸城
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韩敬
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空心阴极放电特性的研究
空心阴极放电是一种既不同于正常辉光放电又不同于反常辉光放电的特殊放电形式,它以其特殊的阴极结构而得名。由于其特有的各项性质,使其在薄膜制备、电光源、显示器件等各个领域中有着广泛的应用。 本文通过流体模拟和探针诊断等方法...
邹彬
关键词:
空心阴极
放电特性
数值模拟
文献传递
空心阴极放电的粒子模拟研究
被引量:3
2008年
应用粒子模拟软件对空心阴极放电进行粒子模拟,得到放电稳定状态时的电势分布和带电粒子的密度分布。利用模拟结果研究了放电电压为-800 V,气压为1 Torr,基板偏压为-250 V和-400 V放电条件下的空心阴极放电特性。结果表明,放电中存在空心阴极效应,放电时的等离子体区在阴极管的中心轴附近,且改变基板偏压对电子密度、粒子密度的空间分布有所影响,随着基板负偏压增加更有利于沉积均匀致密的薄膜。
邹彬
韩敬
丁可
施芸城
陆彦钧
关键词:
数值模拟
管型空心阴极放电的流体模型模拟
被引量:1
2009年
采用二维流体模型对管型空心阴极放电(HCD)进行了模拟,得到放电稳定状态下的电势分布、电子和离子的密度分布、电子平均能量分布.利用模拟结果,理论研究了在气压为30~130Pa.电压为150~300V,阴极孔径在3~7.5mm的范围内氩(Ar)空心阴极放电的特点.结果表明,放电中存在空心阴极效应,放电中的等离子体区域主要分布在管型空心阴极的两端,且改变放电电压、气压和阴极孔径等参数对放电特性有较大影响.
邹彬
施芸城
陆彦钧
关键词:
数值模拟
流体模型
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