2024年12月26日
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闻敏
作品数:
4
被引量:20
H指数:3
供职机构:
湖北大学压电陶瓷技术研究所
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
电气工程
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合作作者
包定华
西安交通大学
邝安祥
湖北大学压电陶瓷技术研究所
顾豪爽
湖北大学压电陶瓷技术研究所
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文献类型
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铁电薄膜
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微电机
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半导体材料
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Y
机构
3篇
湖北大学
1篇
西安交通大学
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中南财经政法...
作者
4篇
包定华
4篇
闻敏
1篇
顾豪爽
1篇
邝安祥
传媒
2篇
压电与声光
1篇
硅酸盐通报
1篇
微特电机
年份
1篇
1998
1篇
1997
2篇
1996
共
4
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压电微电机之综述
被引量:3
1998年
利用压电薄膜的低温沉积工艺与微机械加工技术结合可以制作出压电微电机。这种压电微电机在医用微型器械,自聚焦系统,精密微定位、微型机器人等领域有着重要应用。本文介绍了几种压电微电机的制作过程、结构、工作原理及有关结果,并指出了目前存在的问题和下一步研究发展的方向。
包定华
闻敏
顾豪爽
邝安祥
关键词:
压电薄膜
压电微电机
压电材料
微电机
电机
外延铁电薄膜的研究进展
被引量:12
1996年
铁电薄膜具有优良的铁电、压电、热释电、电光、声光及非线性光学特性,在微电子学、光电子学及集成光学等领域有许多重要应用。近年来,随着铁电薄膜制备技术的发展,外延铁电薄膜的研究已受到广泛重视。文章对外延铁电薄膜的研究现状作了简要评述,并指出了目前存在的一些问题和未来的发展方向。
包定华
闻敏
介电超晶格研究进展
1997年
随着铁电薄膜制备技术和性能研究的发展,介电超晶格已受到人们的关注。本文简要介绍了有关介电超晶格的结构、性能及制作技术,并指出了存在的问题和可能的发展方向。
包定华
闻敏
关键词:
半导体材料
Y_1铁电薄膜材料研究进展
被引量:5
1996年
曾经引起铁电学界轰动的Y1材料,其组成已公之于世,其结构为(Bi2O2)2+(An-1BnO3n+1)2-氧化铋基层状铁电材料。目前研究较多的是SrBi2Ta2O9,SrBi2Nb2O9以及它们的固溶体。文章介绍了有关Y1材料的研究背景。
包定华
闻敏
关键词:
铁电薄膜
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