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陈明星

作品数：11 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
相关领域：环境科学与工程交通运输工程机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇环境科学与工...

主题

  • 6篇光刻
  • 4篇投影光刻
  • 4篇驱动模块
  • 4篇接收器
  • 4篇光学
  • 4篇光学元器件
  • 3篇转角
  • 2篇旋转轴
  • 2篇照明
  • 2篇照明模式
  • 2篇照明装置
  • 2篇数值孔径
  • 2篇投影光刻机
  • 2篇投影光刻系统
  • 2篇透镜
  • 2篇透镜阵列
  • 2篇平行四边形机...
  • 2篇起偏器
  • 2篇转轴
  • 2篇装调

机构

  • 11篇中国科学院上...

作者

  • 11篇陈明星
  • 11篇曾爱军
  • 11篇黄惠杰
  • 6篇张运波
  • 5篇程伟林
  • 4篇贺洪波
  • 4篇方明
  • 4篇王莹
  • 2篇陈立群
  • 2篇林栋梁
  • 2篇杨增辉
  • 2篇朱玲琳
  • 1篇方瑞芳
  • 1篇袁乔

年份

  • 2篇2016
  • 3篇2015
  • 3篇2014
  • 3篇2013
共 11 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
投影光刻机照明装置和使用方法
一种投影光刻机的照明装置及使用方法，包括激光源，沿激光源输出光束方向依次是：扩束器、微镜阵列、快速反射镜、光阑阵列、微透镜阵列、照明镜组和反射镜，所述的微镜阵列的控制系统包括第一计算机和微镜阵列控制器，所述的快速反射镜的...
曾爱军张运波陈明星王莹黄惠杰
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消光式成像椭偏技术研究
随着微电子技术的快速发展,薄膜应用领域越来越广,确定薄膜参数对于薄膜特性研究具有很大意义,而椭偏技术是测量薄膜参数最有效的方法之一,具有非破坏性、非接触性以及高测量精度等诸多优点.成像椭偏技术的研究在国内并不成熟,在大视...
胡仕玉曾爱军陈明星程伟林袁乔谷利元方瑞芳黄惠杰
产生投影光刻照明模式的装置
一种用于高数值孔径投影光刻系统的产生投影光刻照明模式的装置，其构成包括激光源，沿该激光源激光输出方向依次是扩束器、起偏器、第一四分之一波片、相位延迟器阵列、第二四分之一波片、微镜阵列、傅里叶透镜，所述的相位延迟器阵列的相...
张运波曾爱军陈明星陈立群王莹黄惠杰
文献传递
支撑光学组件的同步转角机构
一种支撑光学组件的同步转角机构，特点在于其构成包括基座、第一菱形机构、第二菱形机构、发射源、接收器以及驱动模块，本发明适用于两组光学元器件绕共同轴同步反向旋转，是一种具有结构简单、装调方便、且共同旋转轴的轴向没有任何装置...
程伟林曾爱军陈明星林栋梁杨增辉黄惠杰贺洪波方明
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同步转角仪
一种同步转角仪，其特征在于由双椭圆规机构和平行四边形机构组合构成，包括基座、第一直线滑动模块、第二直线滑动模块、第三直线滑动模块、第一双椭圆规机构、第二双椭圆规机构、发射源、接收器和驱动模块。该转角仪适用于两组光学元器件...
程伟林曾爱军陈明星黄惠杰贺洪波方明
文献传递
投影光刻机照明装置和使用方法
一种投影光刻机的照明装置及使用方法，包括激光源，沿激光源输出光束方向依次是：扩束器、微镜阵列、快速反射镜、光阑阵列、微透镜阵列、照明镜组和反射镜，所述的微镜阵列的控制系统包括第一计算机和微镜阵列控制器，所述的快速反射镜的...
曾爱军张运波陈明星王莹黄惠杰
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产生投影光刻照明模式的装置
一种用于高数值孔径投影光刻系统的产生投影光刻照明模式的装置，其构成包括激光源，沿该激光源激光输出方向依次是扩束器、起偏器、第一四分之一波片、相位延迟器阵列、第二四分之一波片、微镜阵列、傅里叶透镜，所述的相位延迟器阵列的相...
张运波曾爱军陈明星陈立群王莹黄惠杰
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同步转角仪
一种同步转角仪，其特征在于由双椭圆规机构和平行四边形机构组合构成，包括基座、第一直线滑动模块、第二直线滑动模块、第三直线滑动模块、第一双椭圆规机构、第二双椭圆规机构、发射源、接收器和驱动模块。该转角仪适用于两组光学元器件...
程伟林曾爱军陈明星黄惠杰贺洪波方明
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极紫外光刻光源收集镜污染测量装置
一种极紫外光刻光源收集镜污染测量装置，该装置包括准直激光光源、线起偏器、消偏振分光器、样品器、四分之一波片、同步移相器、信号处理系统和极紫外光源收集器。本发明装置可以实时、有效地测量收集镜上的污染物。
朱玲琳张运波陈明星曾爱军黄惠杰
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支撑光学组件的同步转角机构
一种支撑光学组件的同步转角机构，特点在于其构成包括基座、第一菱形机构、第二菱形机构、发射源、接收器以及驱动模块，本发明适用于两组光学元器件绕共同轴同步反向旋转，是一种具有结构简单、装调方便、且共同旋转轴的轴向没有任何装置...
程伟林曾爱军陈明星林栋梁杨增辉黄惠杰贺洪波方明
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