鲁健
- 作品数：23 被引量：69H指数：5
- 供职机构：中国科学技术大学更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金教育部“优秀青年教师资助计划”中国科学院“百人计划”更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术电气工程机械工程更多>>
- 高取向PZT厚膜的0-3复合法制备
- 采用0-3复合法,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上成功制备了单层厚度0.9μm,总厚度10μm,并且无裂纹的Pb(Zr0.53,Ti0.47)O3铁电薄膜.溶液中粉体的存在减小了加热时的体积收缩,降低了制备过程中膜内部...
- 陈超褚家如鲁健杨艳
- 关键词：复合法铁电薄膜X射线衍射介电常数
- 文献传递
- 溶胶-电雾化系统雾滴速度场LDV测量的研究被引量：1
- 2004年
- 用基于多普勒频移和相位差原理的LDV(LaserDopplerVelocimeter)技术研究了溶胶-电雾化系统中荷电雾滴的轴向速度及其分布,并分析了雾滴在输运过程中的受力情况。结果表明,在电场力、重力、流体拖曳力等共同作用下,雾滴轴向速度在垂直于雾场轴线的平面内沿远离轴线的方向逐渐降低,但各点速度分布的标准偏差趋于减小;随着轴向距离的增加,雾滴速度明显增大,在距喷头5cm处高达1 2m/s,并沿径向分布趋于一致。这些结果为溶胶 电雾化系统中薄膜沉积过程的理论研究提供了实验依据。
- 鲁健褚家如秦俊
- 关键词：PZT铁电薄膜微机电系统
- 高性能锆钛酸铅薄膜的制备方法
- 本发明是一种高性能锆钛酸铅薄膜的制备方法，属于铁电功能陶瓷材料的制备方法，尤其是涉及锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜的制备方法。其制备过程为：①以溶胶－凝胶法配制前驱溶液；②制作带有PZT结晶种子层的衬底；③将前驱溶液雾化并加...
- 褚家如鲁健黄文浩
- 文献传递
- 基于溶胶-凝胶技术的PZT厚膜快速成膜研究被引量：3
- 2005年
- 采用快速成膜技术在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)衬底上成功制备了总厚度为2 56μm,结构致密且无裂纹的Pb(Zr0 53,Ti0 47)O3铁电厚膜。研究了快速成膜技术中热分解温度对薄膜结晶取向的影响,分析了在相同退火条件下,分别采用不同热分解温度制备得到的薄膜的结晶状况。X射线衍射分析表明,采用350℃热分解温度得到的薄膜为单一钙钛矿相结构,且沿(100)晶向强烈取向;薄膜断面的扫描电子显微镜照片表明,该薄膜结构致密,晶粒呈现明显的柱状生长;薄膜的电学性能测试结果显示,薄膜的相对介电常数高达819,剩余极化为15μC/cm2,矫顽场强为39kV/cm。
- 陈超褚家如鲁健
- 关键词：铁电薄膜溶胶-凝胶法
- 高取向PZT铁电薄膜的溶胶-凝胶法制备被引量：24
- 2002年
- 采用溶胶 凝胶技术 ,在Pt/Ti/SiO2 /Si衬底上成功制备了沿 ( 1 0 0 )晶向强烈取向的Pb(Zr0 .5 3 ,Ti0 .47)O3 铁电薄膜 .通过X ray衍射分析 ,在每层膜的制备工序中 ,增加6 0 0℃热处理 1 5min的工艺 ,可有效防止烧绿石相的出现和薄膜开裂 ,并促进薄膜沿( 1 0 0 )晶向外延生长 .制得的薄膜经 6 0 0℃退火 4h后 ,呈完全钙钛矿相 ,并沿 ( 1 0 0 )晶向强烈取向 .原子力显微照片表明 ,薄膜结构致密 ,晶粒尺寸约为 1 0 0nm .经测量 ,薄膜的相对介电常数高达 1 1 50 ,剩余极化为 2 6 μc/cm2 ,矫顽场强为 4 9kV/cm .
- 鲁健褚家如
- 关键词：PZT铁电薄膜微机电系统铁电材料电学性能
- 锆钛酸铅铁电薄膜的湿法刻蚀方法
- 锆钛酸铅铁电薄膜的湿法刻蚀方法，其特征在于刻蚀的方法为：①在锆钛酸铅样品表面制备光刻胶掩膜图形；②配制刻蚀液：即以BHF和HCl为基、并加入可溶氯盐MCl<Sub>j</Sub>的水溶液，其中1≤j≤3；③配制用于去除刻...
- 褚家如郑可炉鲁健
- 文献传递
- 基于激光多普勒技术的PZT薄膜压电性能测试研究被引量：3
- 2005年
- 应用基于激光多普勒技术的微小形变分析方法,并引入数字锁相技术,成功实现了PZT(Pb(Zr,Ti)O3)铁电薄膜的压电性能测试。对商用压电陶瓷在小信号激励下的压电性能测试表明,数字锁相技术的引入能有效抑制系统噪声,并提高激光多普勒系统的位移检测分辨率,使其达到皮米量级。此外,研究了用溶胶-凝胶技术和溶胶-电雾化技术制备得到的PZT薄膜的电压-位移曲线和压电位移“蝴蝶线”,实验结果表明:在5 V直流偏置下测得两种方法制备得到的PZT薄膜的d33压电系数分别为218.7 pC/N和215.8 pC/N,相应的标准偏差分别为12.7和28.6。
- 许晓慧鲁健朱龙洋褚家如
- 关键词：PZT铁电薄膜激光多普勒技术数字锁相
- 微系统中PZT铁电薄膜的制备
- PZT(Pb(Zr<,x>Ti<,1-x>)O<,3>)作为一种性能优异的功能材料,被广泛应用于微系统中的微型传感器和微型驱动器.本文综述了适用于微系统技术中的PZT铁电薄膜的制备方法,介绍了国内外PZT铁电薄膜制备的最...
- 鲁健褚家如黄文浩
- 关键词：PZT铁电薄膜微系统微机械电子系统磁控溅射法
- 文献传递
- 铁电薄膜材料介电性能多频率自动测试方法及装置
- 铁电薄膜材料介电性能多频率自动测试方法及装置是一种铁电功能陶瓷材料的测试方法及装置，其测试方法为：将待测铁电薄膜的任意一端与信号发生器的输出端的负电极相连，将该待测铁电薄膜的另一端的电极与一个已知阻值的电阻的任意一端串联...
- 褚家如李磊鲁健
- 文献传递
- PZT铁电薄膜的溶胶-电雾化制备研究
- 针对PZT薄膜的溶胶-电雾化制备研究,本博士论文完成的工作可概括为以下几点:(1)溶胶-电雾化系统的理论基础研究.基于电流体动力学基本理论,分析了静电雾化现象的产生机理,讨论了适合薄膜制备的'锥-射流'模式形成条件与'锥...
- 鲁健
- 关键词：PZT铁电薄膜性能表征微机电系统
- 文献传递
