- 使用微感应耦合等离子体射流源高速沉积类金刚石碳膜被引量:1
- 2008年
- 提出了一种基于13.56MHz激发的微感应耦合等离子体射流源,含碳的等离子体射流在绕有水冷线圈的石英管中产生.激光拉曼光谱及紫外-可见光谱分别用以研究基片负偏压对所生长的非晶碳膜结构特征的影响.结果表明:碳基微等离子体射流具有很强的活性,碳膜的生长速率高达0.8μm/min,但随着衬底负偏压的增加而降低;Raman光谱显示在1 350cm-1、1 580cm-1附近存在D峰、G峰,是典型的类金刚石碳膜;薄膜中碳主要以sp2、sp3碳及无序的聚合碳链形式存在,随偏压的增加,薄膜中聚物碳链结构被打断,分解形成sp2、sp3碳杂化态,Raman荧光本底减弱,sp2和sp3的含量之比增加,光学带隙呈现降低趋势.
- 孙刚辛煜卢春山
- 关键词:类金刚石薄膜RAMAN光谱光学带隙
- 正交型天线感应耦合等离子体源的放电特性
- 本文介绍了一种正交型天线射频感应耦合等离子体源,射频天线穿过交叉排列的石英管内置于真空腔体中。运用朗谬尔探针方法诊断了放电等离子体的参量及其均匀性,运用发射光谱技术进行了波长为750.4nm[4s’(1/2)0-4p’(...
- 卢春山
- 关键词:射频天线放电等离子体
- 文献传递